美国2022年10月实施芯片技术出口限制,还禁止美国技术与人才参与中国的半导体先进制程开发工作,防止美国的芯片技术推进中国军事发展。中国半导体设备商-上海中微半导体创办人尹志尧决定放弃美国籍。
《南华早报》报导,根据上海中微电子周五(18日)发布的年度报告显示,创办人、董事长兼执行长尹志尧已放弃美籍,恢复中国籍。
尹志尧是半导体产业资深人士,曾任职美商应材(Applied Materials)、科林研发(Lam Research)和英特尔工作,在中微半导体2022 年、2021 年和2020 年的年度报告中,被认定为美国公民,2023 年年报则没有揭露尹志尧的国籍。
报导认为,现年81岁的尹志尧变更国籍,刚好是在全球2大经济体科技战不断升级的背景下,美中半导体供应链日益分化的最新迹象。
其实,早在2022年10月,美国商务部推出芯片禁令时,就已针对芯片与相关生产技术,实施包括限制人流等一系列对中国的出口管制,禁止美国公民、永久居民以及在美生活者若未获许可,禁止支持中国先进制程芯片的研发,此规范使相关人士陷入保工作或保美国籍的两难抉择。
去年,中微电子2名美籍高管倪图强和杨伟辞去「核心技术人员」职务。当时,中微电子声称,他们的离职不会对公司的研发进度、营运能力或竞争力产生重大不利影响。
同时,中微半导体设备(上海)股份有限公司在SEMICON China 2025展会期间宣布,其自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™正式发布。Primo Halona™采用中微公司特色的双反应台设计,能够灵活配置最多三个双反应台的反应腔,每个反应腔都能同时加工两片晶圆,实现了在保证较低生产成本的同时,满足晶圆边缘刻蚀的量产需求。这种设计不仅能提高产出密度,提升生产效率,而且设备腔体均搭载Quadra-arm机械臂,精准灵活,腔体内部采用抗腐蚀材料设计,可抵抗卤素气体腐蚀,为设备的稳定性与耐久性提供保证。
此外,Primo Halona™还配备独特的自对准安装设计方案,这不仅能提高上下极板的对中精度和平行度,还能有效减少因校准安装带来的停机维护时间,从而帮助客户优化产能,实现精益生产。在设备智能化方面,Primo Halona™提供可选装的集成量测模块,客户通过该量测模板可实现本地实时膜厚量测,一键式实现晶圆传送的补偿校准,实现更好的产品维护性,大大提升后期维护效率。