碎碎念
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MOS,是metal-oxide-semiconductor,很好的反应了MOS的材料组成。虽然metal大多数情况下是导电性很强的多晶硅,但是不妨碍把它当成metal来进行分析。
在上篇中,有讲到p型半导体的费米能级是处于本征半导体费米能级Efi的下方。
因为绝缘体的能带图和本征半导体的能带图,除了禁带宽度有区别外,很类似,所以直观上,可以做一下迁移,也就是绝缘体的费米能级Ef也位于禁带中。
但是金属呢?
金属的能带图有两种,如下图所示,一种是部分填充,存在禁带;一种是价带和导带重叠。所以我理解的时候犯了难,我不知道怎么迁移了。
deepseek说,在T=0K时,费米能级定义为电子占据的最高能级,我琢磨琢磨,应该可以接受。
因为在[2]中,有说,能级被电子占据的概率,符合Fermi-Dirac分布,即:
所以,当E>Ef时,能级被电子占据的概率是0,也就是说,当T=0K时,费米能级Ef是电子占据的最高能级。
又因为两种能带的金属,不管是部分填充还是价带和导带重叠,在导带中,都有电子,所以费米能级是位于导带内。
所以,MOS中三种材料的能带图,如下图所示。
但是,要分析这三种材料相互接触时,能带图的变化,还需要另外两个量。
一个是材料的电子亲和性(electron affinity),其是材料导带底与真空能级之间的能量差。在真空能级处,电子彻底放飞,从材料中脱离出来,进入真空中。电子亲和性,主要由材料本身决定,不依赖于费米能级的位置和材料的掺杂浓度。
一个是功函数,其是材料的费米能级与真空能级之间的能量差。
将这两个量,添加到MOS中三种材料的能带图,则是:
(4) 当三种材料接触后,会怎么样?
如果三种材料独立不接触的时候,各自的能带图,如下图所示。
为了让三种材料接触后,VG=0时,三者的费米能级都在同一水平线上,如下图所示,需要做2个假定[2],一个是在oxide和semiconductor里都没有净电荷,这样在没有外加电压的时候,三种材料各处的电势都为0;一个是metal的功函数等于semiconductor的功函数。
当VG>0V时
为了方便绘制出当VG>0时的能带图,把VG=0时的能带图稍稍修改一下,删掉代表能带范围的灰色和蓝色块块,只保留导带底和价带顶,如下图所示。
按照Ali教授视频所讲,Xm'和Xs'应该保持不变,因为这是材料本身的特性。(不过,这里有一点点疑惑,因为如果是Xs'保持不变的话,那感觉就出不来oxide-semiconductor接触面处的bending了,所以,我在想,教授是在VG=0的情况下讲的,虽然手势比划的是接触面处,其实是指oxide与偏远处的n-type semiconductor之间的能量差?暂时先忽略这一点)。
当VG>0时,金属的费米能级Ef,m往下移动,而Xm'不变,所以代表oxide的矩形的左边框开始往下移动,此时右边框保持固定(或者会稍稍下移??因为[3]中讲,当Ef,m往下移动的时候,会带着半导体与氧化物接触面处的能级也往下移,从而出现bending,暂时也先忽略这一点),如下图所示。此时,在oxide-semiconductor处,应该往哪倾斜,还未标注。
在[3]的3.1节中,Mark教授,介绍了通过电势来判定oxide-semiconductor接触面处能级的倾斜方向。
倾斜代表什么呢?
先直观上来推测一下,VG>0,则金属与oxide的接触面处产生正电荷,因为是n-type semiconductor,所以里面的多子是电子,电子会被金属侧的正电荷吸引,在n-type semiconductor和oxide接触面聚集,也就是说,在该接触面处电子浓度增加。
而半导体中的载流子浓度的公式为:
接触面处Ef与Ei之间的间距,与本征半导体(x--∞)相比,变大,所以接触面处的电子浓度变大,与上述直观推测相符合。
该工作区域,被称为accumulation。也就是说,当半导体是n-type,VG>0时,为accumulation;类似,当半导体是p-type,VG<0时,为accumulation。
当VG<0V但是又不是很小的时候
当VG<0时,金属的费米能级Ef,m往上移动,而Xm'不变,所以代表oxide的矩形的左边框开始往上移动,此时右边框保持固定(或者会稍稍下移??因为[3]中讲,当Ef,m往下移动的时候,会带着半导体与氧化物接触面处的能级也往下移,从而出现bending,暂时也先忽略这一点),如下图所示。此时,在oxide-semiconductor处,应该往哪倾斜,还未标注。
在[3]的3.1节中,Mark教授,介绍了通过电势来判定oxide-semiconductor接触面处能级的倾斜方向。
倾斜代表什么呢?
先直观上来推测一下,VG<0,则金属与oxide的接触面处产生负电荷,因为是n-type semiconductor,所以里面的多子是电子,所以电子会被金属侧的负电荷排斥,从而留下不能移动的正离子,也就是说,在n-type semiconductor和oxide接触面处开始形成耗尽层。
而半导体中的载流子浓度的公式为:
接触面处Ef与Ei之间的间距接近于0,自由移动的电子和空穴都近似等于ni, 浓度小,且电子和空穴的电荷基本抵消。与上述直观推测相符合。
该工作区域,被称为depletion region。也就是说,当半导体是n-type,VG<0但又不是很小的时候,为depletion region;类似,当半导体是p-type,VG>0时,但又不是很大的时候,为depletion region。
当VG变得更负时,也就是说比0更小时
金属的费米能级进一步向上移动,同时接触面更加弯曲。
而半导体中的载流子浓度的公式为:
参考文献:
[1] Donald A. Neamen, Semiconductor Physics and Devices
[2] Ali Hajimiri, Analog
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