据麦姆斯咨询报道，2025年4月18日至4月20日，合肥工业大学副教授钱金贵将参加《第69期“见微知著”培训课程：微纳谐振器及应用》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：压电MEMS谐振器及传感器
授课老师简介：
钱金贵，博士，合肥工业大学副教授、黄山学者、硕士生导师，入选安徽省科协青年科技人才托举计划。他分别于2017年获韩国全南大学硕士学位，2021年获香港城市大学（CityU）博士学位。他曾任香港理工大学助理研究员，主要从事压电MEMS传感器与超声医疗领域研究。他主持国家自然科学基金重点子任务/青年项目、安徽省自然科学基金、中央高校基本科研业务费等多个项目。他曾获韩国精密机械工程协会最佳会议论文奖、CityU杰出学术表现奖和韩国BK21+奖学金。他担任《压电与声光》、《机械科学与技术》和Exploration等期刊青年编委以及Micromachines期刊客座编辑，目前以第一作者或通讯作者在APR、MINE、Lab chip、SNB、IEEE EDL/TED、MSSP、Nano Energy等国际知名期刊以及MEMS、Transducers等微系统领域顶级会议发表论文20余篇。
授课背景及内容：
压电MEMS谐振器利用压电材料的正/逆压电效应实现高精度振动和信号控制，具有高稳定性、高品质因数、低成本等优势，可应用于MEMS时钟、滤波器和传感器。常用的压电材料包括氮化铝（AlN）、掺钪氮化铝（ScAlN）、铌酸锂（LiNbO₃）、钽酸锂（LiTaO₃）等。目前，谐振器的小/微型化是业内的关注点之一，小/微型化有助于产率提高及成本降低。而如何在小尺寸/小空间下进行谐振器的优化设计是影响MEMS谐振器性能的关键要素。基于压电MEMS谐振器的传感器通过检测由外部刺激产生的谐振频率变化从而实现对各种物理量的测量，相比传统的压阻式或电容式MEMS传感器，其具有高灵敏度、高精度、高频响应、宽动态范围等特点，在惯性传感、压力感测、质量检测、微粒探测、生物检测等方面发展前景广阔。本课程从产业现状出发，深入讲授压电MEMS谐振器核心技术，涵盖设计理论、制造技术，以及各种传感应用。
压电MEMS薄膜谐振器（PMDR），用于声学操控和质量传感
课程提纲：
1. MEMS谐振器基本概念与原理；
2. MEMS谐振器产业概况；
3. 压电MEMS谐振器设计理论；
4. 压电MEMS谐振器制造技术；
5. 压电MEMS谐振器传感应用；
6. 压电MEMS谐振器总结与展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-69.html
