据麦姆斯咨询报道，2025年4月18日至4月20日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、厦门海恩迈科技有限公司总经理于海涛将参加《第69期“见微知著”培训课程：微纳谐振器及应用》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：MEMS谐振式微悬臂梁及应用
授课老师简介：
于海涛，博士，厦门海恩迈科技有限公司创始人、总经理，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，上海交通大学专业学位博士行业导师，国家重点研发计划首席科学家，福建省高层次人才（A类），上海市东方英才青年创业人才，中科院青年创新促进会会员，全国气湿敏专业委员会委员。他分别于北京大学和中国科学院上海微系统与信息技术研究所获学士和博士学位，曾获上海市技术发明一等奖（排名第三），在Nano Lett.、Anal. Chem.等领域高水平期刊和IEEE MEMS等领域顶级国际会议上发表论文70余篇，授权各类专利30余项，编写专著1本，编写国家标准1项。他于2020年创立厦门海恩迈科技有限公司，主要从事基于谐振MEMS技术的创新科学仪器的研发、制造与销售，已服务于新加坡国立大学、清华大学、复旦大学等数十所国内外知名高校与研究所，推动其创新成果在国际知名期刊如Nat. Commun.、Angew. Chem. Int. Ed.、Nano Lett.等的发表。
授课背景及内容：
MEMS谐振式微悬臂梁是一种以悬臂梁为结构单元，采用MEMS制造工艺在硅晶圆上制作的微型谐振器。这种谐振器具有与IC兼容、可批量制造、低成本、小体积、易集成等特点，在生化传感、气体检测、热重分析、材料测试等应用领域具有巨大的市场潜力。厦门海恩迈科技有限公司（简称：海恩迈科技）自主研发了两大类MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片：Libra和Phoenix，它们利用谐振式微悬臂梁的谐振频率变化与质量变化之间的定量关系来测量微小质量，通过与不同敏感材料搭配，可制备多种多样高灵敏的质量型气敏传感器，同时也可用于热力学/动力学参数的测量。海恩迈科技以MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片为核心，还开发了多种分析仪器，包括微悬臂梁气敏测试系统、界面热力学/动力学参数分析仪、芯片式热重分析仪等。本课程详解MEMS谐振式微悬臂梁芯片设计与制造，并介绍生化传感应用及分析仪器技术，最后对MEMS谐振式微悬臂梁技术进行总结与展望。
可用于热重分析和差热分析的MEMS谐振式微悬臂梁原理图，该悬臂梁的核心组件用于质量测量，热电偶用于温度传感
MEMS谐振式微悬臂梁芯片的制造工艺
课程提纲：
1. MEMS谐振式微悬臂梁概述；
2. MEMS谐振式微悬臂梁芯片设计与制造；
3. MEMS谐振式微悬臂梁的生化传感应用；
4. 基于MEMS谐振式微悬臂梁的分析仪器技术；
5. MEMS谐振式微悬臂梁技术总结与展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-69.html
