非线性MEMS谐振器与频率梳

MEMS 2025-04-11 00:02

据麦姆斯咨询报道,2025年4月18日至4月20日,上海交通大学副教授邵磊将参加《第69期“见微知著”培训课程:微纳谐振器及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:非线性MEMS谐振器与频率梳

授课老师简介:

邵磊,博士,上海交通大学密西根学院副教授,从事微机电系统(MEMS)芯片动力学设计和谐振器振动测量技术及仪器等方面的研究。近五年来,他主持国家自然科学基金青年项目(C类)和面上项目、国家科技部重点研发计划青年科学家项目、上海市科委“创新行动计划”科学仪器项目和海外高层次人才引进计划等科研项目,在Science AdvancesNature CommunicationsPRL等期刊上以第一或通讯作者发表论文30余篇,授权/申请发明专利14项,在IEEE MEMS、Transducers等国内外知名会议上作口头报告10余次,获IEEE UFFC最佳会议论文奖1次,受邀担任期刊Advanced Devices & Instrumentation副主编。所研制的MEMS超高频动态显微成像仪获中国仪器仪表学会优秀学术成果奖,应用于中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院上海微系统所、武汉敏声新技术有限公司等国内知名MEMS研发机构和公司。

授课背景及内容:

随着MEMS产品渗透到社会生活的各个领域,其工作的可靠性及稳定性日益受到人们的关注。MEMS谐振器动力学响应直接影响MEMS产品的工作效果,因而研究清楚MEMS谐振器的非线性动力学响应与表面效应、吸收分子质量与能量、机电耦合作用等物理和几何量的依赖关系,揭示MEMS谐振器的物理本质,是成功设计及应用MEMS产品的关键。由于MEMS谐振器在标称驱动功率水平下也能表现出强大的模态耦合,并且可通过电学、光学等多种方法进行表征,使其成为产生和研究声学频率梳的理想平台。MEMS声学频率梳的典型应用包括时间测量与频率合成、声学测距与成像、气体/湿度/温度传感等,频率梳设计方案可根据具体应用需求在“(1)直接利用内共振效应;(2)结合内共振效应与外部激励调控;(3)多谐振器联合构建”等方法中进行选择与权衡。本课程详细讲解MEMS谐振器结构非线性动力学响应机理,以及模态耦合与内共振效应,进而引出MEMS频率梳并阐述其设计方法、锁频技术与时钟应用。


MEMS频率梳概念示意图


MEMS谐振器、动力学模型、超宽谱高稳定频率梳

课程提纲:
1. MEMS谐振器非线性动力学原理及种类;
2. MEMS谐振器模态耦合与内共振;
3. MEMS频率梳概念及设计方法;
4. MEMS频率梳非线性动力学行为;
5. MEMS频率梳锁频技术与超精准时钟应用。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-69.html

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