近日,江苏道达智能科技有限公司自主研发的“半导体晶圆自动物料传送机器人——道达‘麒麟’OHT天车”通过科技成果鉴定!这一成果由中国机电一体化技术应用协会组织权威专家现场评审。
鉴定会上,俄罗斯工程院外籍院士夏志杰、中国电科集团首席科学家 微电子领域泰斗于宗光、以及来自东南大学、南京邮电大学及行业领军企业的专家们仔细审阅了科技成果鉴定资料,认真听取了项目成果汇报,现场对产品进行审查。经过质询和讨论等环节,形成科技成果鉴定意见:道达“麒麟”OHT天车技术自主可控、性能国际先进、创新实力强劲,同意通过新产品成果鉴定。
道达“麒麟”OHT天车作为半导体晶圆厂“搬运中枢”,已成功应用于多家头部半导体企业,实现三大突破!
1、高效节能:WPS无线供电技术支持全天候运转,省去充电等待,安全性与能效双提升;2、精准可靠:AI算法加持,自动导航避障,晶圆搬运“零误差”;3、成本优势:国产化替代可降低采购成本30%,生产效率提升5%以上,助力企业降本增效。
道达“麒麟”OHT天车突破半导体AMHS核心关键技术,自主研发WPS非接触供电、OHTC智能控制系统等,实现复杂环境下的高效稳定运行。直线速度达5.3m/s、定位精度±1mm、振动值<0.35g,远超行业标准。获得6项发明专利、1项软件著作权,填补国内空白,技术水平国内领先、国际先进。
未来,道达智能科技将以此荣誉为契机,充分利用好研究成果,加强各方联动,采取有效措施,助推科技成果转化和进一步推广应用,赋能半导体行业智能制造。
TOTA
赋能国家半导体智造
道达智能科技(TOTA) 是一家为半导体产业提供智能工厂软硬一体解决方案的高新技术企业。公司总部位于南京,服务机构覆盖上海、苏州、西安、北京、成都等城市。
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