据麦姆斯咨询报道，2025年4月18日至4月20日，东南大学副教授丁徐锴将参加《第69期“见微知著”培训课程：微纳谐振器及应用》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：高性能谐振式硅基MEMS加速度计
授课老师简介：
丁徐锴，博士，东南大学仪器科学与工程学院副教授、博士生导师。他主要从事MEMS惯性传感器技术研究，主要研究方向包括MEMS惯性器件设计、器件测控技术、在线补偿与校准技术。他主持国家自然科学基金青年项目、部委创新项目、江苏省基础研究计划自然科学基金项目等项目，以第一/通讯作者发表SCI论文十余篇，授权发明专利十余项。
授课背景及内容：
谐振式硅基MEMS加速度计是一种基于硅微机械谐振器（例如梁、桥、膜、环、叉指等结构）测量加速度的传感器，其工作原理是通过检测惯性力导致谐振器的谐振频率变化，从而实现加速度信号的测量。对于常用的微梁结构，谐振式硅基MEMS加速度计主要有悬臂梁式和双音叉式两种：（1）悬臂梁式的优点是结构简单、易于制造，但存在交叉干扰，而且难以抑制共模信号及温度影响，因此适合中等精度工业监测；（2）双音叉式的优点是稳定性高、抗温漂能力强，但结构复杂、制造难度高，适合高精度惯性导航及重力测量。近些年，国内科研机构对于谐振式硅基MEMS加速度计的研究进展迅速，目前正在向产业化阶段迈进，主要有清华大学、南京理工大学、东南大学、华中科技大学、浙江大学、中国科学院等。本课程全面阐述谐振式硅基MEMS加速度计关键技术及研究现状。此外，在提升传感器性能和可靠性方面，本课程还深入讲解针对振动与冲击的优化方法、静电刚度调谐方法、静电负刚度增敏方法。
东南大学研发的基于静电刚度调谐的谐振式硅基MEMS加速度计
东南大学研发的面内双轴解耦谐振式MEMS加速度计
课程提纲：
1. 谐振式硅基MEMS加速度计基本原理；
2. 谐振式硅基MEMS加速度计研究现状；
3. 振动与冲击优化的谐振式硅基MEMS加速度计；
4. 基于静电刚度调谐的谐振式硅基MEMS加速度计；
5. 基于静电负刚度增敏的谐振式硅基MEMS加速度计；
6. 谐振式硅基MEMS加速度计中的测频分析。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-69.html
