从衬底向上依次生长:
衬底(Substrate):如InP(用于长波长)、GaAs(用于短波长)。
缓冲层(Buffer Layer):减少衬底缺陷,如非故意掺杂InP。
下限制层(Lower Cladding Layer):低折射率、宽禁带材料(如InP),限制光场纵向扩展。
下波导层(Lower Waveguide):稍窄禁带材料(如InGaAsP),引导光场。
有源层(Active Layer):
量子阱(QW)结构:多量子阱(MQW)设计(如InGaAsP/InGaAs),厚度通常5-20 nm,提升载流子限制和增益。
势垒层(Barrier):如InGaAsP,调节能带对齐。
上波导层(Upper Waveguide):与下波导对称或优化设计。
上限制层(Upper Cladding Layer):如InP,与下限制层共同形成光波导。
接触层(Contact Layer):重掺杂(如InGaAs),降低欧姆接触电阻。