基于腔光力系统的高精度微惯性传感器：从机理到实现

据麦姆斯咨询报道，2025年3月28日至30日，电子科技大学教授黄勇军将参加《第68期“见微知著”培训课程：量子传感与精密测量》并进行授课，具体信息如下：

授课主题：基于腔光力系统的高精度微惯性传感器：从机理到实现

授课老师简介：

黄勇军，博士，电子科技大学教授、博士生导师，国家青年人才，电子科技大学校百人。他博士毕业于电子科技大学，后留校任教，期间曾赴美国哥伦比亚大学、加州大学洛杉矶分校学习交流两年，师从IEEE/OSA/APS/SPIE/NAI Fellow Chee Wei Wong教授。他的研究领域主要包含基于腔光力系统的高精度微加速度计、微陀螺仪、微磁场传感器、微腔振荡器及芯片级原子钟等。他曾主持国家自然科学基金（NSFC）青年及面上、JKW173基金及GF创新特区、ZF预研基金、ZF“慧眼行动”、ZF-教育部联合基金等10余项国家级项目，对新型腔光力高精度微加速度计、微陀螺仪等惯性传感器芯片开展了系统深入的研究工作，研制出系列微惯性传感器芯片，构建了完整的腔光力微惯性传感器芯片技术体系；发表中外高水平期刊论文100余篇，总被引4000余次，授权发明专利23项。他的科研成果已联合航天科技/科工、中航工业、军事科学院、兵器工业等多家单位开展引导转化应用，曾获四川省科技进步奖、省学术技术带头人后备、博士后创新人才支持计划、电子教育学会优秀博士学位论文奖、国家WR计划青年人才等荣誉，并在科技部期刊《中国高新科技》做封面人物报道。

授课背景及内容：

电容式MEMS惯性传感器已经获得广泛应用，从智能手机到自动驾驶汽车，但其在精度、灵敏度及稳定性等性能指标上受到制约。近年来，随着微纳加工技术的进步，微纳光腔以及微光机电系统（MOEMS）传感器快速发展。其中，微腔光力系统已经逐渐成为新兴微纳惯性传感的全新解决方案，可广泛用于微小位移、质量、加速度、引力波等物理量的测量。以基于科氏效应的微陀螺仪为例，其可将输入角速度转换为检测位移，而微腔光力系统对位移物理量具有极高的测量精度，这为设计实现高测量灵敏度及精度、高零偏稳定性、大动态范围、不易受电磁干扰的新型高精度微陀螺仪提供了一种新的思路。本课程详解基于腔光力系统的高精度微型传感器，从工作机理到工程实现，涵盖加速度计、陀螺仪、磁场传感器等，最后还会介绍量子增强型腔光力传感器，以及微型定位、导航和授时（Micro-PNT）系统。

基于腔光力系统的微加速度计

基于腔光力系统的微陀螺仪

课程提纲：
1. 腔光力系统工作机理；
2. 基于腔光力系统的高精度加速度计；
3. 基于腔光力系统的高精度陀螺仪；
4. 基于腔光力系统的高精度磁场传感器；
5. 基于腔光力系统的高稳定度微振荡器；
6. 量子增强型腔光力传感器及Micro-PNT系统。

培训详情：
https://www.memstraining.com/training-68.html