主要设备有:
Deposition Process
品牌:Kokusai,型号:QUIXACE II,制造年份:2016,数量:9;晶圆尺寸:300mm
AMAT CVD
品牌:AMAT,型号:Producer SE,制造年份:2006,数量:2;晶圆尺寸:300mm
Axcelis Etch System
品牌:Axcelis,型号:INTEGRA,数量:2;晶圆尺寸:300mm
AMAT CMP
品牌:AMAT,型号:Reflexions / CMP3600,制造年份:2011,数量:1;晶圆尺寸:300mm
Wet Station
品牌:SCREEN SPE,型号:FC-3100,序列号:630601022A,制造年份:2016,数量:1;晶圆尺寸:300mm
TEL Batch Furnace
品牌:TEL,型号:INDYPLUS,制造年份:2013,数量:2;晶圆尺寸:300mm
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