面包芯语

【光电集成】半导体入门：纳米技术和纳米制造

今日光电 2025-03-05 18:06
百万设备≠唯一解！精密测量成本砍半秘籍 多物理场仿真在半导体制程中的应用

今日光电


     有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光引未来...欢迎来到今日光电！


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图1 采用自上而下方法实现纳米技术的纳米机械谐振器制造工艺流程图



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图4 碳分子的几种不同同素异形体示意图

包括（a）金刚石，（b）石墨（单原子层分子碳），（c）六方金刚石，（d）C60或巴基球（白金富勒烯），（e）C540富勒烯，（f）C70富勒烯，（g）无定形碳，以及（h）单壁碳纳米管。


来源：中国科学院半导体研究所  


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