集成化微型钻石量子传感器及应用

原创 MEMS 2025-02-24 00:01

据麦姆斯咨询报道,2025年3月28日至30日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员陈浩将参加《第68期“见微知著”培训课程:量子传感与精密测量》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:集成化微型钻石量子传感器及应用

授课老师简介:

陈浩,博士,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、硕士生导师。他于南京大学取得博士学位,曾在美国伊利诺伊大学厄巴纳香槟分校(University of Illinois Urbana & Champaign)从事微纳光学器件、超构表面的研制和应用,具有丰富的MEMS和亚波长光子学器件制造经验。他长期从事先进光学MEMS传感器、基于量子效应的集成化钻石传感器以及微纳光学传感器等研究工作,开发在高精密磁场探测、电流测量、激光在线测量等领域中应用的微型传感器,并取得多项具有创新性的科技成果。他作为第一作者或通讯作者在Nat. Commun.ACS NanoAdv. Quantum. Technol.等期刊上发表了SCI论文40余篇,申请中、美专利7件。他于2021年入选上海市级人才项目,并作为负责人承担国家重点研发计划目课题和子课题。他还作为项目骨干参与中科院先导专项课题、中国科学院仪器项目等重要科研任务。

授课背景及内容:

钻石,不仅可以作为珠宝装饰品,更是具有极高研究价值的新型量子材料。钻石氮-空位(NV)色心利用其在磁场中的量子顺磁共振效应及荧光辐射特性可以进行精密磁测量。钻石NV色心在常温下也具有稳定的量子态,可以在非制冷的室温下工作。同时,钻石量子磁传感器以其高空间分辨率、高灵敏度、高生物兼容性等技术优势,在近场微观磁共振、磁异常探测、电流测量、生命科学等领域具有重要的应用前景。小型化、集成化、便携化是钻石量子传感器取得实际应用的重要条件。近年来,中国科学院上海微系统与信息技术研究所武震宇、陈浩团队基于晶圆级MEMS工艺平台,利用标准微纳加工技术,制备出钻石量子磁传感器的核心:钻石芯片,并持续开展MEMS集成化钻石量子传感器研究与产业化。当前,在国家重点研发计划的支持下,正与南方电网、中国科学技术大学、西安西电高压开关公司等单位开展合作研究,研制可批量制备的、适用于我国特高压输电线路的精密量子传感器。本课程从钻石量子传感器工作原理出发,详解MEMS集成化微型钻石量子传感器设计、制造、调解、表征、应用,最后总结微型钻石量子传感器的产业化进展。

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MEMS集成化微型钻石量子传感器及制造工艺

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MEMS集成化量子电流传感器及其在±800kV特高压输电线路上的应用测试

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基于量子传感器探头的高压电流传感架构

课程提纲:
1. 钻石量子传感器工作原理及应用前景;
2. 集成化微型钻石量子传感器设计与制造;
3. 集成化微型钻石量子传感器解调系统;
4. 基于集成化微型钻石量子传感器的闭环矢量磁场表征;
5. 基于集成化微型钻石量子传感器的高压电流测量;
6. 集成化微型钻石量子传感器产业化情况。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-68.html

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