微访谈：明皜传感副总经理郭致良
访谈背景：苏州明皜传感科技股份有限公司（简称：明皜传感，英文简称：MiraMEMS）是中国MEMS传感器技术的创新者和开拓者，主要从事MEMS传感器的研发、设计和生产，并提供相关技术服务。明皜传感的主要产品包括：加速度计、陀螺仪和压力传感器，旨在为消费电子、汽车电子、工业自动化以及航空等领域提供所需的产品和集成方案。明皜传感通过提供高质量产品、不断的技术创新以及服务第一的工作态度来赢得客户的信任与支持，成为有核心竞争力的、高性价比的传感器芯片生产商和智能解决方案供应商，同时利用自主研发的三维MEMS-CMOS集成微机电工艺平台技术，与国内外领先的芯片代工厂建立战略合作伙伴关系，共筑MEMS器件工艺标准。近些年，我国汽车产业发展如火如荼，2023年汽车产销量首次突破3000万辆，新能源汽车继续领跑全球，带动我国汽车传感器进入新一轮高速发展期。为了深入调研我国汽车惯性传感器的自主研发情况，麦姆斯咨询近期采访了明皜传感副总经理郭致良。
明皜传感副总经理郭致良
麦姆斯咨询：郭总，您好，感谢您接受采访。首先，请您自我介绍，包括您的个人背景、工作经验、公司职责等。
郭致良：您好，很高兴有这个机会接受国内MEMS领域最具专业性的研究机构麦姆斯咨询的采访。我个人是材料科学专业毕业，有幸参与并见证了半导体产业的一路发展、更新迭代、蜕变成长的过程。我刚进半导体产业的前面十年是在国际领先的代工厂联电（UMC）工作，从新竹的8英寸代工厂到新加坡的12英寸代工厂。我接触MEMS产业始于飞思卡尔（现已并入恩智浦），随后加入了美国MEMS业界先驱，也是明皜传感（MiraMEMS）的前身明锐光电（Miradia），然后再进入全球领先的MEMS设计厂商应美盛（InvenSense），再到现在的明皜传感。转眼之间，我在MEMS产业已有十七年之久了。我曾负责半导体工艺整合、产品质量和可靠性、产品研发，现在担任明皜传感副总职位，主要负责市场规划、新产品定义与开发，以及系统集成方案。
麦姆斯咨询：明皜传感经过10多年的发展，取得了哪些重要的里程碑事件？
郭致良：明皜传感自从明锐光电阶段就专注于MEMS关键技术的自主研发，2002年获著名的创投红衫资本、JAFCO、台积电的投资。在DLP微镜投影技术方面，明锐光电希望以创新技术打破被传统大厂德州仪器（TI）所垄断的局面。2011年苏州固锝“慧眼”收购明锐光电，并在苏州成立明皜传感，然后把先前累积的MEMS平台关键技术拓展至各种电容式MEMS传感器的设计、制造、封测。2012年开始，随着国内消费电子市场蓬勃发展的势头，明皜传感进入到加速度计领域，从白牌手机到品牌手机，从国内客户到国外客户，从行车记录仪到各式各样的智能穿戴应用，快速地拓展市场并在某些应用领域成为了行业标竿。2016年，明皜传感进入中国MEMS十强榜单，经过了多年在各个方面持续提升与积累，累积出货量已超过10亿颗。
明皜传感MEMS加速度计
麦姆斯咨询：接下来，请您谈谈汽车MEMS传感器市场情况，目前有哪些因素正在推动我国汽车MEMS传感器产业快速发展？尤其是以加速度计和陀螺仪为代表的惯性传感器领域。
郭致良：2023年，我国汽车销量突破3000万辆，达到3009.4万辆。汽车MEMS传感器市场规模在2024年将超过100亿元人民币，每年增长约15%。传感器在汽车上的应用非常关键，新能源车产业正在推动更多样的MEMS传感器被采用，尤其是在中国！以加速度计在车上的应用而言，包括安全气囊、主动悬架、自动驾驶、智能座舱、哨兵应用、胎压监测系统（TPMS）、主动降躁（RNC）等。跟安全有关的关键项目（如安全气囊）是强制性安装的，其它安全应用也都会变成标配。这些皆会带动后续MEMS传感器市场的持续成长。
参考法国市场调研机构Yole报告数据，2023年，MEMS加速度计市场规模为16亿颗，价值14亿美元。汽车MEMS加速度计市场规模约为7.4亿颗，价值约7.69亿美元。消费电子应用的加速度计出货量虽大，但就市场价值或销售额而言，不及汽车电子领域。汽车MEMS加速度计的市场价值占全球加速度计价值的60%，但目前都是由国外传统MEMS大厂占据。随着国内电动汽车市场的蓬勃发展，汽车MEMS加速度计是实现国产化的必要项目。
相比与加速度计，陀螺仪在汽车上的单独应用并不多，并且逐渐被六轴MEMS惯性测量单元（IMU）（三轴加速度计+三轴陀螺仪）所取代。六轴IMU主要应用在主动转向、侧翻检测、ESC（电子稳定系统）和导航系统等。
麦姆斯咨询：相比以智能手机为代表的消费电子行业，汽车行业对MEMS传感器的要求很高，需要通过各种车规级认证。请您介绍汽车MEMS传感器的高要求体现在哪些方面？车规级认证的难度体现在哪些方面？
郭致良：由于汽车价值高又是载人的高速交通工具，因此汽车电子在各方面都比消费电子的要求高，从设计、认证、质量、制造，乃至于原材料、供应链等，车厂通常都采用业界最严格的机制来控管，甚至需导入零缺陷（Zero defect）的精进措施。对MEMS传感器而言更是如此，车厂要求产品的高一致性、高稳定性、高可靠性，以及生产过程中严格的质量管控，尤其安全气囊应用是汽车电子部件中，功能安全要求等级最高的ISO26262 ASIL-D等级，而安装在车身或底盘上的震动传感器也要求需达到ASIL-B等级。这些车规级功能安全认证，在公司层面上需导入并通过ISO-26262体系认证；在产品层面上，整个产品开发的功能安全设计流程、产品验收与技术数据连同产品也需送到第三方的认证单位或实验室认证。另一方面，非安全相关应用的MEMS传感器则可以免除功能安全认证，但必须符合并通过AEC-Q100相关的可靠性验证。
麦姆斯咨询：针对当前我国汽车MEMS传感器的市场需求，明皜传感做了哪些准备工作？目前有哪些惯性传感器产品可供销售？
郭致良：明皜传感自2011年开始一直专注在MEMS加速度计领域，积累了十几年的技术实力，从设计、制造到封装测试，拥有自主研发技术与专利，并已累积了大量的量产经验。明皜传感进入汽车市场，多方面持续发力：研发符合汽车安全应用的车规级高g值加速度计、车规级供应链的完善、质量体系及产品验证、汽车市场应用方案。我们拥有深厚的技术底蕴与强大的产品实力做后盾，现已经有符合并通过AEC-Q100验证的MEMS加速度计dva29x系列产品，具备与国际大厂的竞争能力。
以dva29x系列产品中的dva290为例，它是一款明皜传感独立研发的超低功耗高性能电容式三轴MEMS加速度计，拥有超小封装2mm x 2mm x 0.9mm（LGA），工作温度范围从-40℃至85℃，通过AEC-Q100 Grade 3验证，可用于非安全相关的汽车应用。
明皜传感MEMS加速度计dva290
麦姆斯咨询：除了惯性传感器，压力传感器是否有涉足汽车领域？
郭致良：除了MEMS加速度计，明皜传感推出了MEMS压力传感器df2xx系列产品，可为汽车提供全新的人机交互模式，在智能座舱触摸板、充电口、车门相关应用上导入了国内汽车Tier 1大厂。
以df2xx系列产品中的df212为例，它是一款明皜传感独立研发的数字输出MEMS压力传感器，是目前市场上第一款数字输出的测力传感器。该器件体积小巧，仅为2mm x 2mm，测量范围为0-10牛顿，分辨率超过4000级，可广泛应用在汽车方向盘按键、车门把手、智能座舱控制面板等场景。
明皜传感MEMS压力传感器df212
麦姆斯咨询：通常，汽车MEMS传感器由“MEMS、ASIC、封装”三部分组成，明皜传感采用什么策略以加快上述三部分的研发与验证？可以介绍一些新产品的进展情况吗？
郭致良：由于加速度计由ASIC、MEMS及封装三部分构成，明皜传感采取将这三部分“平行同步研发”的策略，以缩短整个产品开发周期。目前，我们的高g值MEMS部分与SOP封装功能验证已完成，ASIC部分PSI-5与功能安全正在设计验证阶段，预计今年年底可以完成电路验证。虽然功能安全相关验证周期较长，不过一旦客户导入量产后就会稳定使用。
麦姆斯咨询：目前，明皜传感掌握了哪些核心技术？
郭致良：明皜传感为MEMS传感器体硅工艺的开拓者，突破了博世（Bosch）、意法半导体（ST）等公司的表面硅工艺知识产权授权限制。我们开发出3D MEMS-CMOS微加工工艺平台技术以满足多种惯性传感器的制造工艺与芯片开发需求。在自主工艺的基础上，明皜传感又同时掌握MEMS芯片设计、封装测试、软件算法等核心技术，覆盖完整的MEMS产业链。
明皜传感利用MEMS体硅工艺制作的梳齿电容
麦姆斯咨询：明皜传感已经成为消费电子行业中的MEMS加速度计龙头厂商，有哪些原因使得你们在消费电子市场中具有很强的竞争力？这种竞争力如何转化到汽车电子市场之中？
郭致良：以过去发展的经验，明皜传感能够在传感器领域形成很强的竞争力归结于三个方面：关键的技术 + 成熟的供应链 + 客户的积累。这也是我观察到国外MEMS大厂在行业中取得成功的关键。而这三个方面也是产品达到车规级MEMS传感器高要求的必要条件。
麦姆斯咨询：在汽车MEMS传感器产品品质和供应链安全方面，明皜传感目前做了哪些工作以解除客户的后顾之忧？未来还有哪些规划？
郭致良：明皜传感与世界级大厂合作建立了长久稳定的伙伴关系，实现了互惠共赢。明皜传感的工艺平台，实现了MEMS结构和CMOS电路层在同产线一次性生产制造。明皜传感还从封装设计和封装生产两个角度，协同封装厂商构建MEMS传感器封测体系，包含测试机台与测试标定方法，实现了MEMS传感器高精度、高线性度的性能，达到100%产品可追溯性。为确保供应链安全，明皜传感在产业链各个环节已经具备双供应商，未来也会继续布局国内MEMS晶圆生产供应链，以满足客户的产能需求。
麦姆斯咨询：我们知道比亚迪和上汽是明皜传感的股东，你们如何利用这种关系加强汽车MEMS传感器研发与销售？
郭致良：明皜传感长期耕耘MEMS传感器市场，累积了不少客户资源，有很多都成为公司股东，其中也包含您提到的汽车大厂。这也让我们能跟这些大客户有更深度的交流合作，有助于让我们更清楚地了解客户的需求与痛点，准确给出解决方案，并规划未来符合客户应用需求的产品，加快推进汽车安全与非安全相关的车规级MEMS传感器的导入进程。
麦姆斯咨询：在汽车客户方面，您可以谈谈目前的项目进展情况吗？
郭致良：目前在非安全类汽车应用方面，例如T-Box、车钥匙、胎压监测、姿态检测、定位器等，已有多家国内及国外著名的Tier 1客户将明皜传感的MEMS加速度计产品导入量产，当然也有一些定点项目在试产过程中。在这过程中，明皜传感已通过了德系客户的车规级审厂。除了MEMS加速度计，我们的汽车项目也包含MEMS压力传感器在人机界面（例如智能座舱）相关应用的量产导入。
麦姆斯咨询：展望未来，您如何看待MEMS市场发展？明皜传感如何把握新的市场机遇？
郭致良：对于消费电子市场，相较于过去高速发展时期，这两年市场逐步收缩，价格战愈加激烈。但手机市场累积了很多还没有换机的消费需求，加上人工智能（AI）的落地应用，需要更多MEMS传感器感知外部的行动或环境变化，2024年已经露出有“春燕回巢”的契机。而从2023年开始，新能源汽车市场蓬勃发展，除了强制安装的安全相关传感器，还包括提升座舱舒适性、人机界面，以及更多新的智能应用需要新的MEMS传感器。明皜传感一方面与大客户深入合作来开发新应用领域的拳头产品、另一方面持续优化产品设计与供应链生产的效率，提供更符合客户需求又更具有竞争优势的产品以扩大市场份额。
麦姆斯咨询：明皜传感的目标是成为世界级传感器公司，最后请您谈谈公司未来成长情况吧。
郭致良：2024年，国产新能源汽车将会保持全球领先的态势，中国在全球汽车产业链的地位将进一步提升，这都将带动国产化技术的创新与落地。明皜传感以消费电子市场为本，以自主成熟的MEMS技术、稳定可靠的供应链进入汽车电子市场，在双发动机的推动之下，成长动力持续看好，并促使汽车MEMS传感器领域的国产化取得进一步的突破。
