随着汽车芯片需求大幅增长,越来越多的模拟芯片从消费类升级为车规类。由于汽车行业对质量管理的要求严格,可靠性要求的提高带来芯片晶圆三温测试需求(-40℃~125℃)。
对于电源管理芯片,有些晶圆除了三温 CP测试还需要 Trim,而且大部分都需要 True Kelvin CP Test。这在不改芯片版图(一方面是成本优势、另一方面有利于更早实现车规芯片量产)的前提下,传统悬臂卡已经无法满足要求。
这对晶圆 CP 测试探针卡有着极高的要求,挑战之大不亚于 SoC 芯片上万针数的 2D MEMS 探针卡。
和林微纳是国内首家在80μm x 80μm PAD size上完成 True Kelvin CP Test量产的 MEMS探针卡方案提供商,生产的MEMS探针卡在客户端量产针痕如下,极限双针间隙15um。