半导体洁净厂房的施工及质量验收规范是确保厂房达到所需洁净度、满足生产工艺要求的重要环节。以下是合洁科技电子洁净工程公司对该规范的详细阐述：
一、施工规范
1、前期规划与设计
根据半导体生产工艺及所使用的生产设备的要求，确定洁净区的空气洁净度等级，并参照现行国家标准《洁净厂房设计规范》(GB
50073)的规定进行划分。
设计合理的功能区域划分，如进料区、加工区、封装区、测试区及成品区等，并设置有效的隔离措施，避免交叉污染。
制定详细的设计方案，包括空气净化系统、温湿度控制系统、照明系统、给排水系统等的布局和设计。
2、材料与设备选择
选用抗腐蚀、抗静电、易清洁且不易产生尘埃的建筑材料，如不锈钢板、铝板、PVC板、环氧地坪及PVC地板等。
选择高效、低噪的通风设备及空气净化装置，确保空气净化系统的性能满足设计要求。
电气系统应采用低烟无卤电线电缆，并合理布置电线管路，避免交叉和重叠。
3、施工要点与细节
施工过程中需严格控制施工环境，避免灰尘和污染物进入车间。
墙面、地面和天花板的施工需严格按照设计方案进行，确保材料平整、无缝隙且易于清洁。
门窗应采用密封性好的材质，如彩钢板单向弹簧门和铝合金窗，并设置自动感应门以减少人员进出时带入的灰尘和微生物。
施工过程中需采取防尘措施，如使用防尘罩、湿作业法等，以减少灰尘的产生和扩散。
4、人员与设备管理
进入洁净厂房的操作人员需经过严格的培训，了解洁净区域的标准操作规程和防护要求。
穿戴洁净服、手套、口罩等防护用品，以防止污染物质进入车间。
建立严格的出入管理制度，对人员流动进行监控和记录。
建立设备档案，记录设备的运行状况和维护历史。
二、质量验收规范
1、空气洁净度检测
对车间的空气进行采样和分析，以确定空气中的颗粒物浓度是否符合空气洁净度的相应规定(如ISO 14644标准)。
2、温湿度与压力检测
检测车间内的温度和湿度是否控制在规定的范围内(如温度控制在22℃±0.5℃～22℃±2℃或20℃～25℃范围内，相对湿度控制在43%±3%～45%±10%或45%~65%RH范围内)。
检测车间内的压力是否保持稳定，不同等级的洁净区之间、洁净区与非洁净区之间、洁净区与室外的压差不应小于5Pa。
3、照明与噪音检测
检测照明是否足够明亮，以满足生产操作的需求。
检测噪音是否控制在允许的范围内，以保障员工的身体健康和工作效率。
4、外观与安全检测
检查车间的外观是否整洁、无损坏。
检查电气系统、给排水系统等是否安装牢固、位置准确，并符合安全规范。
5、文档与记录
检查施工过程中产生的各类文档和记录是否完整、准确。
检查设备档案、人员培训记录等是否齐全。
6、验收合格证明
由相关部门出具验收合格证明，确保半导体洁净厂房符合相关法规和标准。
综上所述，半导体洁净厂房的施工及质量验收规范涉及多个方面，包括前期规划与设计、材料与设备选择、施工要点与细节、人员与设备管理以及质量验收的各个方面。通过遵循这些规范，可以确保半导体洁净厂房达到所需的洁净度、满足生产工艺要求，并为半导体产品的生产提供优质的生产环境。
