2025年开年，3家国产SiC设备企业迎来“开门红”，先后宣布批量发货、输出海外。
中国电科48所：
立式氧化炉批量发货
1月9日，中国电科48所官微宣布，旗下数台立式氧化炉于近日发往客户现场，实现批量发货。
据介绍，立式氧化炉是6~8吋SiC功率器件及Si基集成电路制造的关键工艺设备，主要用于高温氧化及退火工艺。经过多年的迭代升级，48所的立式氧化炉突破了高精度温度控制、高稳定性晶圆传输、高可靠高安全性控制等关键技术，已在多个客户端实现批量应用。
中国电科48所隶属于中国电子科技集团有限公司，旗下半导体工艺设备事业部专注于微电子与半导体装备的研发和制造，设备涵盖薄膜制备、掺杂、刻蚀、烧结、激光焊接等领域。
扬帆半导体：
SiC设备出口海外
1月10日，据“平波台”官微消息，扬帆半导体与印度企业成功签约了“整套制程加工技术解决方案”出口订单，这标志该公司自主研发的SiC半导体生产设备实现首次出口海外。
据悉，此次签约的“整套制程加工技术解决方案”，主要包含从晶锭切磨抛制程等一系列的组合机台；同时，扬帆半导体的第三代半导体前道共享中试平台，可以在生产前，将各项数据进行反复检验，确保2个月内实现产品落地。
此外，扬帆半导体的设备、耗材、辅材、零件均是国产产品，实现了国产供应链全面替代，在生产设备价格上为客户节约40%左右，产品成本降低30%左右。
资料显示，扬帆半导体是一家致力于开发、制造用于半导体生产工艺的先进设备（包括单/双面清洗机、减薄机、单片/多片抛光机、相关检测等）及半导体行业配套核心原辅材的高新技术企业，旗下拥有第三代半导体前道共享中试平台。
晶晨科技：
碳化硅长晶炉新品签单
1月5日，据“晶晨科技”官微消息，该公司在江苏太仓市成功举办了碳化硅长晶炉新品发布会暨签约仪式，并在现场与客户达成实际性订单及战略合作。
据介绍，这款长晶炉拥有完整国内供应链，核心知识产权保护，已具有技术领先的国产替代能力。其独特的温场设计、前开式腔体等技术创新突破，解决了炉内打火等困扰行业的痛点。在发布会上，晶晨科技董事长张春雷和客户代表完成了签约仪式，达成实际性订单及战略合作。
资料显示，晶晨科技由上海磐云科技有限公司半导体事业部独立剥离而成立，核心博士研发团队成员拥有超过30年的技术沉淀。经过团队3年的潜心研发、工艺优化，晶晨科技成功推出第一款量产设备：8英寸电阻加热PVT碳化硅晶体生长炉（CG-R08）。
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