合洁科技洁净工程公司如何做好4000平方千级晶圆洁净车间FFU布置?

合洁科技 2025-01-07 16:40

  在构建4000平方的千级电子净化车间时,布置FFU(风机过滤单元)是至关重要的环节。FFU作为洁净室中的核心设备,其布局不仅影响到车间的洁净度,还直接关系到车间的运行效率和能耗。因此,必须综合考虑车间的尺寸、工艺要求、换气次数、FFU的额定风量以及车间的布局和气流组织等多个因素,以制定出科学合理的FFU布置方案。具体随合洁科技电子净化工程公司一起来了解下吧!

  一、FFU布置的基本原则

  在布置FFU时,首先要遵循的是均匀分布的原则。这意味着FFU应根据换气次数、高效过滤器的过滤效率、送风量以及灯具等均匀分布在车间内,以获得较好的风速和过滤效果。同时,要特别注意在一些对无尘要求更高的关键工艺区域,如生产线的某些环节,FFU的分布密度可以适当增加,以确保更高的洁净度。

  二、换气次数与FFU数量的计算

  换气次数是计算FFU数量的基础参数。对于千级洁净车间,换气次数通常在50-60次/h之间。以换气次数50次/h为例,我们可以通过以下公式来计算FFU的数量:

  FFU的数量 = 车间体积 × 换气次数 ÷ FFU的额定风量

  假设车间的高度为3米,则车间的体积为4000平方米 × 3米 = 12000立方米。若每台FFU的额定风量为1000m³/h,则FFU的数量为:

  FFU的数量 = 12000m³ × 50次/h ÷ 1000m³/h = 60台

  需要注意的是,这只是一个理论上的计算值,实际布置时还需考虑FFU之间的重叠效应、气流组织以及车间的具体布局等因素。

  三、风速与FFU数量的关系

  除了换气次数法外,还可以通过风速法来计算FFU的数量。风速是指空气在车间内的流动速度,对于千级洁净车间,风速通常在0.3-0.5m/s之间。以风速0.4m/s为例,我们可以通过以下公式来计算FFU的数量:

  FFU的数量 = 车间面积 × 风速 ÷ FFU的额定风量

  若每台FFU的额定风量为1000m³/h,且假设FFU的送风面积为1.5平方米(这取决于FFU的规格和布置方式),则每台FFU的送风风速为:

  风速 = 额定风量 ÷ 送风面积 = 1000m³/h ÷ 1.5m² = 666.67m³/h/m² = 0.185m/s(转换为秒速)

  显然,这个风速远低于我们期望的0.4m/s。因此,在实际布置时,我们需要根据车间的面积和期望的风速来调整FFU的数量和布置方式。

  四、FFU的具体布置方案

  1、均匀布置:在大多数情况下,FFU应均匀布置在车间的顶部,以确保空气能够均匀分布在整个车间内。在4000平方米的车间内,我们可以将FFU按照网格状布置,每个网格的大小可以根据FFU的送风面积和期望的风速来确定。

  2、关键区域加密:在生产线上的关键工艺区域,如芯片封装、测试等环节,对洁净度的要求更高。因此,在这些区域,我们可以适当增加FFU的布置密度,以提高该区域的洁净度和风速。

  3、气流组织:气流组织是影响FFU布置效果的重要因素。在布置FFU时,我们需要考虑车间的布局、设备布置以及障碍物等因素,以确保气流能够顺畅流动,避免形成涡流或死角。

  4、高架地板回风:对于千级洁净车间,底部可以采用高架地板回风方式,以形成有效的空气循环和过滤。高架地板下方可以设置回风管道和过滤器,将车间内的空气通过高架地板送回FFU进行过滤和再循环。

  五、FFU的安装和调整

  1、安装位置:FFU通常被安装在天花板上,但也可以根据需要安装在墙壁上等其他位置。在安装时,应确保FFU的进风口和出风口畅通无阻,避免被障碍物遮挡。

  2、高度调整:根据不同的工艺需求,在特定区域可以适当调整FFU的安装高度以满足工艺流程的要求。例如,在生产线上的某些环节,可能需要将FFU安装得更高一些,以避免对操作人员的干扰。

  3、调试和维护:在安装完成后,需要对FFU进行调试和维护以确保其正常运行和过滤效果。这包括检查FFU的风速、噪音和过滤效率等指标,并定期对FFU进行清洁和更换过滤器等操作。

  六、其他注意事项

  1、FFU的额定风量:在选择FFU时,需要特别注意其额定风量是否与车间的换气次数和风速要求相匹配。额定风量过大的FFU可能会导致能耗增加和噪音问题;而额定风量过小的FFU则可能无法满足车间的洁净度要求。

  2、车间的布局和气流组织:车间的布局和气流组织对FFU的布置效果有着重要影响。因此,在设计和布置FFU时,需要充分考虑车间的布局、设备布置以及障碍物等因素,以确保气流能够顺畅流动并达到预期的洁净度效果。

  3、备用FFU:为了确保车间的连续运行和可靠性,建议在布置FFU时预留一定的备用量。这样,在某一台FFU出现故障时,可以迅速启用备用FFU以维持车间的洁净度和风速要求。

  综上所述,4000平方千级电子净化车间的FFU布置是一个复杂而细致的过程。通过综合考虑车间的尺寸、工艺要求、换气次数、FFU的额定风量以及车间的布局和气流组织等多个因素,我们可以制定出科学合理的FFU布置方案,以确保车间的洁净度和运行效率达到预期要求。

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