首台（套）重大技术装备认定（即首台套认定）是国家及地方政府对首次研发并投入市场应用的重大技术装备进行官方认证，旨在鼓励企业技术创新和产业升级，推动高端装备制造业发展。获得认定的产品通常具有创新性、先进性和市场潜力，可享受政策支持和资金扶持，具有示范引领作用。
回望2024年，国内多个省份纷纷发布了首台套认定名单，其中多个碳化硅等第三代半导体装备上榜，详情请看：
盘点上榜“首台套”的SiC设备
2024年，广东、湖南、浙江、江苏、山东及黑龙江等多个省份的认定中包含了多个SiC等第三代半导体装备：
广东省
2024年6月，广东省发布首台（套）重大技术装备推广应用指导目录。在精密仪器设备领域，SiC 晶圆衬底缺陷自动检测设备在列（单位：台）。据介绍，该设备适用于4、6、8吋SIC衬底；检出率≥99%；最小分辨率：颗粒物≤0.2μm；划伤≤1μm。
值得一提的是，该设备或将有资格获得不超过500万元资金奖励——广东省将对符合《指导目录》要求的装备产品，实现销售后对研制企业进行奖励，原则上按单台（套）装备售价的30%给予奖励，成套装备奖励最高不超过900万元/套，单台装备、单批总成或核心部件奖励最高不超过500万元/台（批）。
湖南省
湖南省工业和信息化厅在2024年10月8日公布了2024年度湖南省首台（套）重大技术装备认定产品名单，共认定50项技术装备产品。这些产品中包括了湖南维尚科技有限公司旗下的第三代大功率半导体基板烧结装备。
浙江省
浙江省经济和信息化厅于2024年12月24日公示了2024年度浙江省首台（套）装备认定结果，认定中关于SiC等第三代半导体的装备包括：
1）SiC功率器件动态偏压可靠性测试装备，申报企业为杭州飞仕得科技股份有限公司，装备类别为整机装备；
2）SiC集成电路高端电化学机械抛光设备，申报企业为杭州众硅电子科技有限公司，装备类别为整机装备；
3）8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备，来自西湖仪器（杭州） 技术有限公司，装备类别为成套设备。
江苏省
江苏省工业和信息化厅在2024年9月19日公示了2024年江苏省首台（套）重大装备名单，其中来自芯三代半导体科技（苏州）股份有限公司的PE1T51-6011AB 六英寸垂直式碳化硅外延设备榜上有名。
此外，江苏省还发布了关于加快首台（套）装备研发应用的政策举措，自2025年1月1日起实施。
山东省
山东省工业和信息化厅在2024年12月16日公示了2024年度山东省首台（套）技术装备生产企业及产品名单，名单中包括碳化硅金刚线切片机（GC-SCDW6500），申报企业为青岛高测科技股份有限公司。
黑龙江
黑龙江省工业和信息化厅于2024年6月6日公示了2024年度黑龙江省首台（套）产品拟认定名单，共有55家企业上榜。其中，哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司旗下有2个碳化硅装备上榜，分别是碳化硅感应长晶炉（6英寸）以及碳化硅电阻长晶炉（6英寸）。
首台套认定的多重利好
首台套认定为各省份乃至全国的高端装备制造业发展提供了强劲动力。通过政策支持和资金扶持，企业得以加大研发投入，推动技术创新，提升产品竞争力：
财政资金奖励
许多地方政府会对获得首台套认定的企业给予财政资金奖励。如广东省明确将根据文件给予上榜企业/产品给予丰厚的财政资金奖励。同时，部分地方政府为鼓励企业技术创新和首台套装备的研发，会给予企业一定的税收优惠政策。
提升市场认可度
首台套认定可提升产品的市场认可度和品牌知名度，使企业的产品更容易获得市场的信任和青睐，拓展市场份额。其示范效应还能带动相关行业和领域对新技术、新产品的应用和推广，进一步扩大企业的市场影响力。此外，部分地方政府和相关部门为降低企业研发和市场推广风险，建立了首台套重大技术装备保险补偿机制，增强企业应对风险的能力。
促进企业技术创新
首台套认定促使企业加大研发投入，开展技术创新和产品研发，推动企业的技术进步和创新能力的提升。这不仅有助于企业提高产品的技术水平和性能，还能带动相关产业链的发展，促进产业结构的优化和升级，提高整个产业的竞争力和附加值。
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