12月24日上午，温州首家晶圆厂——浙江星曜半导体有限公司（以下简称“星曜”）的5G射频滤波器芯片晶圆产线项目投产仪式，在温州湾新区、龙湾区举行。该项目总投资7.5亿元，投产后将年产12万片高性能射频滤波器晶圆片，预计2025年2月实现产品交付客户。
浙江星曜半导体有限公司（简称：星曜）是温州首家集成电路企业，晶圆产线项目的投产，意味着企业已逐步形成一条从芯片设计研发、晶圆制造、封装测试到销售的全产业链条，填补温州集成电路产业链制造领域的空白。
芯片有了“温州造”
芯片由晶圆分割而成，晶圆是芯片生产的载体。星曜于2020年落户温州湾新区、龙湾区，经过4年发展，公司已拥有120多人的顶尖研发团队，研发出100多款高性能滤波器芯片和10多种射频模组芯片，终端客户覆盖国内外众多品牌的通讯设备公司。
为了实现射频滤波器芯片从自主设计到自主生产，去年4月，由星曜投资的温州首家晶圆厂项目继续签约落户温州湾新区、龙湾区。“项目主要用于高性能射频滤波器芯片的生产制造和封装测试等，投产后，将大大增强企业芯片供应能力，同时也能大幅度提升产品开发速度。”启动仪式现场，企业负责人高安明介绍。
当天上午，记者走进项目主厂房参观通道，直观了解芯片制造生产过程。芯片制造对洁净环境要求非常高，记者在现场看到，包括光刻机、蒸镀机、刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放，整个操作车间一尘不染，工作人员身穿无尘洁净服进行操作。
芯片制造类似乐高盖房子，先用衬底材料作为地基，再层层往上叠加芯片制造流程，重复若干次，产出相应的芯片。“星曜可以在温州生产第一批芯片产品了。”现场，晶圆厂负责人邱金荣难掩内心激动。
个性化服务助力项目加速跑
晶圆厂占地4万平方米，包括晶圆制造中心、封装测试、生产辅助和废气废液纯水动力处理中心等配套设施。“从2023年10月9日拿到施工许可证，到今年4月18日主体结构封顶，一共用了6个月零12天，再到9月18日首台设备搬入、11月20日产线调通、今天正式投产，最大感受就是快。” 邱金荣表示，这既是星曜速度，也是温州湾新区速度。
记者了解到，去年上半年，自项目签约开始，温州湾新区、龙湾区便组建项目专班，针对企业提出的个性化需求，几乎有求必应。
不同于普通工业企业，晶圆厂由于涉及到大量精密操作，对于电压稳定性与可靠性要求极高。“任何微小的电力波动，都可能对产品质量造成严重影响，甚至导致整条生产线停滞。”邱金荣说，一旦设备停机，修复或重启至少需要一周时间。为此，当地联动国网温州供电公司，抽调电力业务骨干多次研究相关方案，为项目量身定制一套双电源接入的方案。今年11月底，该项目完成双电源接入，对顺利投产的带动作用明显。
温州首家晶圆厂的快速投产，是重大项目在温州市加速“奔跑”的生动缩影。今年以来，温州全力以赴优化营商环境，为重大项目提供最优质、最便捷、最高效的全生命周期服务，推动项目投资放量、投产达效，为高质量发展注入强劲动能。据统计，1-11月，温州完成制造业投资607.11亿元、同比增长13.2%，增速居全省第1；全市超亿元制造业项目竣工数达99个，较上年同期多9个。
