ppb级高灵敏度SO₂光声气体传感器,用于SF₆分解物检测

MEMS 2024-12-22 00:01

六氟化硫(SF₆)作为新一代超高压绝缘介质材料,具有优异的电气绝缘性能和卓越的灭弧性能,在微电子技术领域应用广泛,例如电气行业通常将其用作为高压开关、大容量变压器以及高压电缆的绝缘材料。然而,当一些高压电力设备发生故障时,产生的电弧、火花等可能会致使绝缘材料分解,并与SF₆发生化学反应,从而生成二氧化硫(SO₂)等多种气体分解物。对这些气体分解物含量进行检测,能够作为一项关键指标,为设备故障预警提供有力支持。

目前,研究人员已经开发出多种用于检测SF₆分解物的气体传感器。在各种检测技术中,光声光谱技术(PAS)因具备高灵敏度、高选择性以及紧凑的检测模块等优势,成为一种理想的痕量气体检测方法。

据麦姆斯咨询报道,近期,西安电子科技大学、重庆邮电大学和西安交通大学的研究团队联合开展了一项研究,基于新型266 nm低成本高功率固态脉冲激光器和高品质因数(Q)差分光声池,研发出一种高灵敏度(ppb级)的SO₂光声气体传感器,能够有效检测电力系统中SF₆的分解情况。相关研究成果以“ppb-Level SO₂ Photoacoustic Sensor for SF₆ Decomposition Analysis Utilizing a High-Power UV Laser with a Power Normalization Method”为题发表在Sensors期刊上。

在这项研究工作中,研究团队采用了一种基于被动调Q技术的紧凑型紫外(UV)脉冲激光器,用于检测SF₆分解物中的SO₂。该紫外脉冲激光器波长为266 nm,输出功率为28 mW。通过将光声信号与激光功率进行归一化处理,解决了因紫外激光功率不稳定而导致的光声信号波动问题。此外,所采用的差分光声池能够获得高Q值,并降低SF₆缓冲气体中的气流噪声。


图1 266 nm紫外激光器的工程几何结构(a、c、d)和实物照片(b)


图2 低噪声差分光声池的实物照片及三维解剖示意图


图3 SO₂光声气体传感器系统示意图

研究团队针对SO₂光声气体传感器系统的激光功率和工作压力参数进行了优化,使其在积分时间为1 s时,实现了1 σ检测限(信噪比为1)为2.34 ppb的水平,对应的归一化噪声等效吸收系数(NNEA)为7.62 × 10⁻¹⁰ cm⁻¹W√Hz。该SO₂光声气体传感器的响应时间为1 s,其灵敏度能够较好地满足电力系统故障预警的需求,为后续开展现场测试奠定了良好的基础。


图4 充入50 ppm SO₂和SF₆混合气体时光声池的频率响应曲线


图5 蓝色曲线为功率计采集的激光器发射光的功率变化情况;红色曲线为50 ppm SO₂和SF₆混合气体的光声信号变化情况


图6 传感器对50 ppm SO₂和SF₆混合气体的响应幅度与压力之间的函数关系


图7 (a)不同浓度SO₂和SF₆混合气体的归一化信号幅度;(b)归一化信号随SO₂浓度变化的函数关系

综上所述,这项研究工作成功开发了一种ppb级SO₂光声气体传感器系统,通过将新型紫外脉冲激光器与低噪声高Q值差分光声池相结合,为SF₆分解物中的SO₂检测提供了一种高灵敏度且性能稳定的解决方案,未来有望用于电力系统故障的早期预警。

论文信息:
https://doi.org/10.3390/s24247911

延伸阅读:
《环境气体传感器技术及市场-2023版》
《盛思锐气体传感器SGP40产品分析》
《盛思锐气体传感器SGP30产品分析》

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