国内光掩模企业进展汇总!华润微、上海光源、徐州博康、冠石科技、国科天骥、欣奕华、润晶科技、长飞石英等领衔作报告

中国半导体论坛 2024-12-18 12:24
● 2024光掩模版与光刻胶技术与市场论坛将于12月27日在苏州召开
 华润微、上海光源、徐州博康、冠石科技、国科天骥、欣奕华、润晶科技、长飞石英、Linx Consulting、晶测芯材等领衔作报告

光掩膜版作为微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版,在半导体、液晶显示器制造过程中扮演着至关重要的角色。近年来,随着5G、物联网、人工智能和新能源汽车等新兴技术的快速发展,对高性能、高精度光掩膜的需求不断增加,推动了国内光掩膜版企业的技术进展和产业进展。以下是对几家国内光掩膜版企业技术进展及产业进展的分析讨论。

迪思微电子

无锡迪思微电子有限公司在高端掩模项目方面取得了显著成果。自2021年以来,无锡迪思顺利实施两轮融资,投资约20亿元建设高端掩模项目。该项目于2022年11月开工,历经18个月,相继完成厂房封顶、设备搬入、工艺调试、产线贯通等重大里程碑任务。2024年7月12日,无锡迪思完成了首套90nm高端掩模产品的生产与交付,标志着其技术能力实现新跨越。未来,无锡迪思将聚焦90nm制程量产,并逐步向40nm、28nm等更先进制程迈进。项目达产后,将新增90nm-28nm高端掩模版产能2000片/月,总产能达5000片/月。无锡迪思作为华润微电子旗下子公司,深耕光掩模领域35年,是国内最早从事光掩模制造的专业企业之一,其技术水平和生产能力均处于国内领先地位。

中微掩模

虽然关于中微掩模的具体技术进展和产业数据未详细披露,但可以从行业趋势和企业背景进行推测。中微掩模作为国内较早从事光掩模制造的企业之一,积累了丰富的技术经验和客户资源。随着国内半导体产业的快速发展和市场需求的不断增长,中微掩模在技术提升、产能扩张和市场份额扩大方面均有望取得积极进展。同时,中微掩模也将继续加强与国际先进企业的合作与交流,不断提升自身的技术水平和国际竞争力。

济南泉意光罩

济南泉意光罩作为光掩膜版行业的一员,不断提升技术水平以满足市场需求。随着全球半导体产业的快速发展和政府的大力支持,济南泉意光罩市场前景广阔。尽管具体的技术进展和产业数据未详细披露,但从行业趋势来看,济南泉意光罩在技术提升和市场份额扩大方面均有望取得积极进展。

龙图光罩

龙图光罩股份有限公司是国内稀缺的独立第三方半导体掩模版厂商。该公司紧跟国内特色工艺半导体发展路线,不断进行技术攻关和产品迭代。其半导体掩模版工艺节点从1μm逐步提升至130nm,产品广泛应用于功率半导体、MEMS传感器、IC封装、模拟IC等特色工艺半导体领域。龙图光罩凭借雄厚的研发技术实力和优异的产品性能,在行业内取得了显著成就。近年来,公司营业收入和净利润持续增长,显示出强劲的发展势头。未来,龙图光罩将继续加大研发力度,推进高端半导体芯片掩模版项目的建设,不断提升制程节点和技术水平,致力于成为国内半导体掩模版领域的龙头企业。

路维光电

路维光电是国内最早进入掩膜版领域的企业之一,在平板显示、半导体等行业用掩膜版方面具有多年的技术积累,技术水平处于国内领先地位。通过自主研发,路维光电成功突破了G11掩膜版在图形精度、缺陷控制等方面的诸多技术与工艺难点。

2018年,路维光电开工建设国内首条G11高世代掩膜版项目,并于2019年成功实现G11高世代TFT-LCD掩膜版的投产,配套京东方和华星光电等客户的G11面板产线。这一成就不仅展示了路维光电在掩膜版制造领域的领先地位,也为国内平板显示行业的发展提供了有力支持。

冠石科技

冠石科技成立于2002年,是一家专业从事半导体显示器件研发、生产、加工、销售的高新技术企业。2023年,冠石科技拟投资20亿元建设45-28nm成熟制程的半导体光掩膜版制造项目,并拟定增募资不超过8亿元用于光掩膜板制造项目。


项目负责人陈新晋系台积电首批参与掩模版生产人员,技术团队全球顶级。项目的生产技术人员有台积电背景,代表着全球最强的代工技术之一。冠石科技的光掩膜版项目分两批投建,第一节点将于2025年实现45nm光掩膜版的量产,第二节点将于2028年实现28nm光掩膜版的量产。


截至2024年上半年,冠石科技光掩膜版项目取得了关键进展。首台电子束掩膜版光刻机顺利交付,其他核心设备也按约定时间陆续交付并按计划节点开展安装调试。这一项目的成功实施将填补国内先进制程光罩空白,打破国外高端光掩膜版的垄断局面,提高我国半导体光掩膜产业的安全性和可控性。

清溢光电

清溢光电是中国领先的光掩膜制造商之一,其光掩膜业务涵盖设计、制造和销售各类高精度光掩膜产品。清溢光电致力于为半导体、平板显示、触摸屏、集成电路(IC)和印刷电路板(PCB)等行业提供高质量的光掩膜解决方案。


近年来,清溢光电在光掩膜制造领域取得了显著进展。公司不断加强技术研发和创新,提升了光掩膜的制造精度和性能。2023年,清溢光电的掩膜版业务收入达到9.15亿元,显示出公司在光掩膜市场的强劲竞争力。


综上所述,国内光掩膜版企业在技术进展和产业进展方面取得了显著成就。未来,随着市场需求的增长和政策的支持,这些企业将继续加强技术研发和创新,提升产品性能和质量,推动中国光掩膜行业的持续发展。
2024光掩模版与光刻胶技术与市场论坛将于2024年12月27日在苏州举行,由亚化咨询主办。此次会议将汇聚半导体行业的领军企业、技术专家、学者和行业分析师,聚焦光掩模版及光刻胶在中国乃至全球半导体产业链中的关键作用,共同探讨掩模版及光刻胶产业的发展前景、最新技术进展、面临的挑战和未来趋势。


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