据麦姆斯咨询报道，2024年12月13日至15日，西北工业大学教授虞益挺将参加《第67期“见微知著”培训课程：光谱仪及光谱成像》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：基于Fabry-Pérot干涉技术的微型光谱仪
授课老师简介：
虞益挺，博士，西北工业大学机电学院教授、博士生导师，兼任西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心负责人，国家级创新领军人才、国家173重点项目首席科学家、优青、教育部新世纪优秀人才、教育部全国百篇优博论文奖获得者、德国洪堡学者、陕西省优秀青年科技新星。他主持建成浙江省首条8英寸硅基MEMS前道工艺中试线，主持立项浙江省军民融合创新示范基地、浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台及宁波市光学微系统及应用技术重点实验室，担任浙江省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室副主任，“甬江引才工程”创新团队负责人，中国光学工程学会理事、中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会副理事长暨青工委委员、中国机械工程学会极端制造分会委员，国家多部委及多省市项目、科技奖评审专家。他主要从事MEMS光功能芯片及先进视觉感知技术研究，面向遥感遥测、医疗诊断、智慧城市、智能制造、军事国防等应用领域研制高性能、低成本、超紧凑的核心微纳光功能芯片，进而推动相关仪器或装备的微型化、集成化、智能化与低成本化。他先后主持国家自然科学基金优青及面上项目、军科委基础加强重点项目及创新特区项目、装备预研航天科技联合基金、中航产学研专项、航空科学基金等课题10余项。至今，他在NC、IF、AOM、OEA、MINE、AC、Nanoscale、Opt. Express、Opt. Lett.、中国光学、光学精密工程、光学学报等国内外重要学术期刊发表论文130余篇，获授权中国发明专利35项。他合作出版了工信部“十四五”规划教材《微机电系统》（第2版）。
授课背景及内容：
传统的分光器件是限制光谱仪微型化的重要因素。如今，基于半导体制造工艺，各种芯片级分光器件获得飞速发展，MEMS技术赋予分光器件动态可调的能力，使得光谱仪系统设计具有更大的灵活性。基于MEMS技术的法布里-珀罗（Fabry-Pérot，F-P）分光器件采用微纳结构调控干涉、衍射和色散等光学参量的原理实现滤波功效，为微型化、低成本和定制化的光谱仪提供了新的解决途径。近三十年来，针对实用化Fabry-Pérot分光器件的研究已取得长足的进展，但在芯片制造、器件性能和系统集成方面仍面临诸多要攻克的难题。同时，研究人员正在利用人工智能（AI）技术实现光谱滤波芯片的硬件优化，从而大幅度提高光谱信号、光谱图像的分析与识别能力。本课程针对Fabry-Pérot分光器件工作原理、制造方法及微型光谱仪应用进行详解。
基于F-P全固态分光器件的单芯片集成光谱仪
课程提纲：
1. Fabry-Pérot干涉仪分光原理；
2. Fabry-Pérot全固态分光器件及其制造方法；
3. 基于Fabry-Pérot全固态分光器件的微型光谱仪；
4. Fabry-Pérot动态分光器件及其制造方法；
5. 基于Fabry-Pérot动态分光器件的微型光谱仪；
6. 基于Fabry-Pérot干涉技术的微型光谱仪典型应用。
