近日，国家市场监督管理总局（国家标准化管理委员会）发布2024年24号中华人民共和国国家标准公告，由工业和信息化部电子第五研究所牵头，苏州市质量和标准化院 、中机生产力促进中心有限公司等15家单位共同编制的国家标准GB/T 44842—2024《微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法》于10月26日发布并实施。
MEMS技术迅猛发展，MEMS产品已广泛应用于消费电子、汽车、工业、航空航天、军事国防等众多领域。MEMS器件含有可动微机械结构，薄膜作为其主要结构材料，其特性直接关系MEMS器件的质量可靠性。该标准规定了长度和宽度小于1mm、厚度在0.1μm和10μm之间的薄膜材料的弯曲试验方法。该标准的发布可面向MEMS器件的结构加工、产品研制、产品应用、第三方检验等单位开展应用，对MEMS器件产品的推广应用具有重要作用。
附：编制单位名单
工业和信息化部电子第五研究所 、苏州市质量和标准化院 、中机生产力促进中心有限公司 、成都航天凯特机电科技有限公司 、苏州大学 、无锡芯感智半导体有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、西北工业大学 、华南理工大学 、深圳市美思先端电子有限公司 、天津大学 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 、苏州市标准化协会 、安徽北方微电子研究院集团有限公司 、广东润宇传感器股份有限公司 、无锡韦感半导体有限公司。
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