设备区|中微半导体：撑起国产设备“半边天”

2015年，美国商务部工业和安全局(BIS)发布了一个特别的公告：由于中国一家公司已经做出了和美国设备公司有相同质量和数量的等离子体刻蚀机，所以取消对中国的刻蚀机出口管制。

这家公司正是中微公司——全球半导体设备“新星”。

2019 年中国大陆刻蚀设备市场规模达 32 亿美元，约合 226 亿元。其中，在本土晶圆厂的刻蚀设备市场中，77%的市场份额被国际三家刻蚀设备龙头垄断。而国产品牌中，中微以市占率17%、北方华创市占率4%成为国产刻蚀的中坚力量。

中微公司联合创始人倪图强曾表示，中微公司与泛林半导体、应用材料、东京电子、日立等4家美日企业组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机，如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机，预计能获得比7纳米更大的市场份额。

半导体行业一直以来就是一个高度集中的行业，中微之前,全球能够提供等离子刻蚀机和化学薄膜沉积设备的企业共有四家,其中三家位于硅谷,分别是应用材料、泛林公司(LAM)和诺法公司(NVLS),另外一家东京电子(TEL)位于日本。中微的出现，使得这些龙头企业变得警惕起来。对他们来说，中微做的就是试图在这一市场分一杯羹，而这正是巨头们不愿意看到的。

2015 年，公司获得产业大基金 4.8 亿元投资，这也是大基金在上海半导体行业的第一笔投资。自 2004 年成立伊始，中微公司首先开发甚高频去耦合等离子体刻蚀设备涵盖 65 nm、45 nm、32 nm、28 nm、22 nm、14 nm、7 nm微观器件的众多刻蚀应用。

2019年中微半导体在5nm蚀刻机领域上完成了突破，从65nm到5nm, 中微用了11年的时间追赶上主流半导体的步伐。去年7月22日，在万众期待之下，中微作为科创板首批25家企业之一正式上市！截至2020年7月17日，中微市值突破千亿，成为科创板目前仅有的6家市值超千亿的上市公司之一，俨然是中国芯片产业的领军企业之一。目前中微已经开始量产5nm蚀刻机设备，并且被台积电采购用于生产5nm芯片。将于2021年投入生产，日后为华为、苹果和高通等厂商生产5nm制程工艺芯片。

在半导体这个波动幅度大的行业中，中微公司近几年的业绩却表现相对稳定，2016年至2019年，中微公司的营业收入分别为6.1亿元、9.7亿元、16.4亿元和19.5亿元。对于业绩稳定增长，尹志尧表示，主要受三个因素驱动：等离子体刻蚀机的市场迅速增长、MOCVD设备的市场需求增长和国内集成电路制造产业发展。

在尹志尧看来，只有未雨绸缪、不断扩展设备种类和市场覆盖面，才能不惧波动、稳固向前。