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来源:吉林大学学报(工学版)
作者:宋学伟 1,2,于泽平 1,肖阳 1,2,王德平 3,袁泉 4,李欣卓 1,郑迦文 1(1.吉林大学 汽车工程学院,长春 130022;2.吉林大学 汽车仿真与控制国家重点实验室,长春 130022;3. 中国第一汽车集团有限公司 研发总院,长春 130013;4 宁波工程学院 机械工程系,浙江 宁波 315336)
多物理场仿真技术能够准确模拟半导体制造过程中的涉及各种物理现象及其相互作用,准确预测结果、优化制程工艺,从而缩短研发周期、降低试错成本并提升产品竞争力。本次直播聚焦 COMSOL 仿真软件在半导体制程中的广泛应用。