半导体行业中，金刚石占有举足轻重的地位。其中微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）因其多项优势，成为制备大尺寸、高品质单晶金刚石最有发展前景的技术之一。稳定的大功率微波集成系统作为MPCVD设备中不可或缺的组成部分，其性能直接影响到人造金刚石的质量和生产效率。
很多MPCVD设备制造商在采购时，最关注三个指标：高功率、高效率、高稳定性，而满足这三大指标的核心产品就是：麦米电气Wepex 6KW/10KW/15KW微波集成系统。
01 高功率
随着市场变化，更多的客户需要更高的微波功率以满足生产更大尺寸金刚石的需求，初期的6KW微波系统在市场上的占比逐渐减小。
为了满足市场的需求，麦米电气对Wepex 6KW微波系统进行全面升级。此次升级，我们引入了全新的技术架构和算法优化，推出Wepex 10KW/15KW微波集成系统，能够稳定输出更高的微波功率，确保MPCVD腔内能够形成稳定且高效的等离子体环境，为金刚石晶体的快速生长提供了充足的动力。
02 高效率
在追求高功率的同时，我们深知能效的重要性。通过使用软开关电源技术，结合低损耗波导、环形器等材料以及先进的电源管理算法使Wepex系列微波集成系统实现了高效率输出，有效降低能耗。
经过与多款不同规格的磁控管长期测试得出结论：整体微波集成系统的输出效率达到68-72%，处于行业领先水平。
03 高稳定性
在人造金刚石的生产过程中，设备的稳定性直接关系到产品的质量和生产的连续性。
麦米电气Wepex系列微波集成系统采用液冷散热方式，其内部的高压电源、环形器、磁控管均是水路连接，同时配有多个水流检测传感器，进一步保证整体系统的稳定性。
此外高压电源采用精密的温控系统、稳定的电流电压反馈机制以及多重安全保护设计，确保整体系统在长时间、高强度的工作环境下依然能保持稳定的功率输出。
李蕊 13373875075（微信同号）
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