2亿,河北一碳化硅外延设备项目即将投产

10月12日,据正定发布消息,杭州晶驰机电科技有限公司(下文简称“晶驰机电”)半导体材料装备研发生产项目正加速推进建设进度,有望在十月下旬投产。

source:正定发布
据介绍,晶驰机电半导体材料装备研发生产项目总投资2亿元,占地约50.26亩,总建筑面积约20000平方米,项目分两期建设,一期建设计划时间为2025年—2026年。项目以金刚石设备与碳化硅外延设备为产品核心,专注于第三代和第四代半导体材料装备的研发、生产。

该项目于今年7月落地河北正定县,目前已经完成了厂房的基本改造,展厅的搭建、办公室的搭建以及净化生产车间的搭建。项目负责人表示,下一步将加快项目建设进度,争取在十月下旬正式投产。

资料显示,晶驰机电成立于2021年7月,其总部与研发中心位于杭州市浙江大学杭州国际科创中心,致力于碳化硅、金刚石、氮化铝、氧化镓等第三、四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广。

source:晶驰机电
目前公司产品包括6英寸、8英寸水平进气和6英寸及8英寸兼容型垂直进气碳化硅外延设备(LPCVD 法),金刚石生长设备(MPCVD 法),金刚石外延设备、氮化铝长晶设备,碳化硅源粉合成炉,氧化镓单晶生长炉(导模法、CZ法),各种晶体和晶片热处理炉。

据集邦化合物半导体此前报道,晶驰机电还在本(10)月完成了数千万首轮融资,该笔资金由河北正茂产业投资有限公司(正定县政府产业投资基金)领投。

晶驰机电表示,该笔融资的完成将有助于推动其在第三代、第四代半导体材料装备的研发和市场推广,提升其在国内第三代、第四代半导体装备行业竞争力,加速推动半导体设备国产化进程。

 

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