据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司研究员龚立强将参加《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：PZT压电薄膜制备工艺
授课老师简介：
龚立强，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司研究员，日本新潟大学MEMS专攻硕士学历，研究领域为压电MEMS触觉传感器。目前，主要工作方向为压电MEMS及非制冷红外相关薄膜工艺开发。在高可靠性非制冷红外材料及外延PZT相关领域有多项技术成果及发明专利。
授课背景及内容：
压电薄膜沉积技术是实现压电MEMS传感器和执行器从概念到产品的重要环节。目前，产业界应用最广泛的压电薄膜材料是氮化铝（AlN）和锆钛酸铅（PZT），其中，PZT压电薄膜主要制备方法是溅射法（Sputtering）和溶胶-凝胶法（Sol-gel）。以溅射法为例，PZT压电薄膜器件在硅衬底上形成五层：黏附层、下电极层、缓冲层、压电（PZT）层和上电极层，上述薄膜层在单晶圆溅射系统中形成，才能保证硅衬底不暴露在大气中，从而实现压电MEMS器件的高产量和高可靠性。ULVAC（爱发科）作为全球领先的PZT薄膜量产设备厂商，已积累了丰富的产业经验，并为我国多条MEMS中试线和代工厂提供制造设备和技术支持。在本课程中，老师将为学员分享PZT薄膜制备方法、常见问题和解决方案，并结合典型压电MEMS器件讲解制造工艺流程。
课程提纲：
1. PZT压电薄膜材料特性分析；
2. PZT压电薄膜制备方法：溶胶凝胶法 vs. 溅射法；
3. 溅射法压电薄膜工艺设备及参数控制、常见问题和解决方案；
4. 高可靠性PZT压电薄膜量产技术；
5. 基于PZT压电薄膜的典型器件（如超声波换能器、喷墨打印头、麦克风、扬声器等）制造工艺流程。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-66.html
