从MEMS制造到纳米制造及纳米传感器

MEMS 2024-10-10 00:01

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据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李铁将参加《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》并进行授课，具体信息如下：

授课主题：从MEMS制造到纳米制造及纳米传感器

授课老师简介：

李铁，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、科技处处长，微系统技术重点实验室副主任，科技委主题专家，上海市领军人才，上海市优秀学术带头人，现任上海市传感技术学会副理事长、Transducers、IEEE MEMS国际会议TPC成员等职。他承担国家重点研发计划课题、国家973、国防973、863、国家重大科技专项课题、国家创新研究群体科学基金、国家自然科学基金、中国科学院项目等国家省部级项目80余项。他在硅基热电器件及模组、硅纳米线制造及器件等方面开展系统研究并实现应用，在Nano Letters等发表论文200余篇，获中国发明专利75项、美国专利2项、日本专利1项。获国家技术发明二等奖、上海市技术发明一等奖/二等奖、上海市科技进步二等奖、美国汽车电子学会（SAE）Arch T. Colwell Merit奖。他被评为“中国科学院优秀研究生导师”，指导的博士生获得“中国科学院院长特别奖”和中科院百篇优秀博士论文。

授课背景及内容：

作为现实世界中的信息来源，高性能微型传感器不仅对人类生活和生产很重要，而且对机器人的智能化也起到举足轻重的作用。纳米材料使制造高性能传感器成为可能，然而，低成本、大规模的纳米传感器制造技术急需但远未实现。本课程将综述李铁团队通过MEMS技术在晶圆级设计和纳米制造方面的研究工作，以及实现微型换能器和高性能纳米传感器的集成。李铁团队利用高选择性的CMOS制造技术，在绝缘体上硅（SOI）硅片上采用自上而下的方法制造了小尺度（~20 nm）的硅纳米线（SiNW），并进而实现了简单、便携、快速的生物/化学检测平台。同时，通过MEMS微热板和纳米有序传感材料的集成，生产出具有高灵敏度、快速响应时间和低功耗的气体传感器芯片。上述研究成果为未来高性能晶圆级纳米制造及纳米传感器应用提供了一种通用的方法。

SiNW场效应晶体管生物传感器的标定策略及其在生物传感中的应用。（a）SiNW场效应晶体管生物传感器制造和功能化产生的差异；（b） SiNW场效应晶体管生物传感器校准原理；（c）SiNW场效应晶体管生物传感器在生物传感中的应用。