度大等优点在激光泵浦、激光武器、工业加工等领域具有广泛的应用。然而，大功率半导体激光器在长期工作的情况下或在高温等恶劣环境下往往达不到长效稳定的工作要求，即性能发生退化，直接影响了激光器的可靠性和系统模块的稳定性。电极退化是导致大功率半导体激光器失效的主要因素之一。欧姆接触不良是现阶段大功率半导体激光器在制造及应用方面一个亟待解决的问题。欧姆接触电极品质的好坏，欧姆接触电极比接触率的大小，会直接影响大功率半导体激光器的输出光功率、噪声、可靠性等性能［１－３］。随着半导体激光器工艺技术的不断进步与发展，器件的尺寸也在逐渐减小，对欧姆接触电极质量也提出了愈来愈高的要求。本文综述了半导体激光器电极的失效机理与电极欧姆接触特性的评估方法、电极失效的检测与分析方法，归纳了欧姆接触研究的技术优缺点并提出了相应的改善措施。
