据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日，南京南智先进光电集成技术研究院有限公司工艺总监包晓清将参加《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：“薄膜压电材料+X”异质集成技术
授课老师简介：
包晓清，博士，南京南智先进光电集成技术研究院（江苏省光电技术创新中心）工艺总监，南京信息工程大学副研究员，四川省海外高层次留学人才。他长期专注于半导体工艺、光电化学以及MEMS应用研究，曾任职于法国国家科研中心、欧盟国际伊比利亚纳米技术实验室以及中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室。他作为课题负责人和项目骨干参与了多项国家级与省部级项目，具有较为丰富的产业技术研发和工艺管理经验。目前，他发表论文累计50余篇，论文被累计引用1800余次（Google Scholar），两篇论文分别入选ESI高被引论文以及JMM亮点论文，拥有国内外专利多项（含国际发明专利一项）。
授课背景及内容：
南智光电是由中国科学院院士、南京大学教授祝世宁团队牵头，南京大学与南京市“双一流”共建的重点研发机构、江苏省光电技术创新中心建设单位，拥有5000平米洁净产线及先进的微纳加工及检测设备，建成并运营“薄膜压电材料（以铌酸锂为主）+X”（X代表硅、化合物半导体、低维材料等）异质集成光电共性技术平台，为企业和科研院所提供光电芯片及MEMS器件研发、验证和代工服务。目前，南智光电取得了多项国际领先的科研成果，例如成功生长出8英寸光学级铌酸锂晶棒，打破了技术垄断；研制了高速调制光子芯片，制备了消色差超构透镜、纳米级激光器等。本课程综述“薄膜压电材料+X”异质集成技术，讲解薄膜压电微纳工艺及典型的异质集成器件，最后进行技术总结与展望。
南智光电提供薄膜铌酸锂相关芯片定制化加工服务
课程提纲：
1. “薄膜压电材料+X”异质集成技术概述；
2. 晶圆级薄膜铌酸锂微纳工艺及异质集成器件；
3. 晶圆级薄膜氮化铝微纳工艺及异质集成器件；
4. “薄膜压电材料+X”异质集成技术总结与展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-66.html
