《中国科学：信息科学》英文版（SCIENCE CHINA Information Sciences）近日发表了电子科技大学的研究成果，文章题为“HF-VHF NEMS resonators enabled by 2D semiconductor ReSe₂”，于2024年第67卷第10期刊出。电子科技大学王曾晖、夏娟、朱健凯、徐博为通讯作者；电子科技大学基础与前沿研究院为第一完成单位。该研究得到了国家杰出青年科学基金、国家自然科学基金原创探索计划等项目的支持。
二维半导体为构建新型纳米器件提供了大量的机会，作为其中的代表二硒化铼（ReSe₂）已在二维激光、晶体管和光电探测器等领域取得了一系列进展。研究者们通过干法转移技术，制备了从单层到超百层的30余个圆形ReSe₂鼓膜谐振，器件工作在高频-超高频范围。
在进一步对器件谐振的实验数据进行总结和分析后，研究人员们成功确定了二维ReSe₂晶体的杨氏模量为110 GPa，并确立了ReSe₂纳米机电器件的频率设计规律。上述成果有望为新型ReSe₂纳米器件的设计及其应用提供重要的指导，并推动二维ReSe₂纳米机电器件的发展。
ReSe₂的晶体结构，基于1-3层ReSe₂材料的纳米机电器件，及此类器件的频率设计规律和二维ReSe₂晶体的杨氏模量提取。
论文详情：
https://doi.org/10.1007/s11432-024-4047-2
