新增一8吋SiC工厂！2026年投产

原创第三代半导体风向 2024-09-19 17:57

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“行家说三代半”近日发现，奥地利一家SiC厂商正在建设6吋/8吋SiC项目，其中8吋衬底已经成功研发，预计在2026年实现投产。

值得一提的是，该公司还拥有自主的SiC粉料工艺及人工智能晶圆检测技术，致力于打造欧洲自主的SiC供应链，更多详细内容请往下看：

奥地利EEMCO：

8吋SiC工厂2026年投产

据“EEMCO”官网消息，目前他们正在使用专有的PVT工艺在专用炉中生产高质量的6/8吋SiC晶体，并将8吋SiC技术引入了位于挪威的ARCTIC SiC衬底厂，该工厂将于2026年开始运营。

EEMCO表示，ARCTIC SiC衬底厂100%使用水力发电，标志着欧洲将落成首个零排放SiC生产设施。未来，公司将充分利用EBNER在长晶炉设计和晶体生长方法方面的丰富经验，不断改进和完善其制造工艺，打造欧洲自主的SiC衬底供应体系。

“行家说三代半”了解到，EEMCO隶属于EBNER集团，EBNER集团原专注于工业炉制造，但该集团团队于2018年开始了对SiC生长技术的深入研究和开发，并于2020年成立了EEMCO。

2023年3月，EEMCO还联合奥地利的莱奥本矿业大学共同开发新的建模方法，目标是帮助碳化硅企业提高单晶生长质量——他们认为，虽然传统物理建模已经很先进了，然而这需要大量的数据和相应数量的实验，需要耗费大量的时间和财力；他们希望结合基于物理和数据驱动的模型，以获得尽可能高效和可预测的碳化硅晶体生长方法；合作期间，EEMCO共运营着15个研究炉。

此外，EBNER集团还于2021年成立了专门研究碳化物粉料的公司——SICREATE，SICREATE专为EEMCO提供高纯度SiC粉末，其产品线包括两种类型的SiC粉末（导电型与半绝缘型），均达到6N的高纯度级别，粒径范围从0.1毫米至2毫米。

据介绍，SICREATE采用了一种超高真空硅碳化物烧结工艺，所生产的SiC粉末在单次生产周期内就能达到高标准的纯度和粒度，无需额外的机械或化学后处理。与市场上其他同类产品相比，SICREATE的粉末以其多样化的粒度、低氮含量、极少的金属和化学杂质，以及低CO₂排放而脱颖而出。

EEMCO通过其“姊妹公司”实现了内部供应SiC粉末，确保了原材料的高质量和供应稳定性；不仅如此，针对SiC晶圆的质量把关，EEMCO还与Evident进行合作（后者是一家提供工业成像解决方案的公司），利用定制软件和人工智能技术，提高了晶圆上缺陷检测和表征的准确性和效率。

EEMCO介绍到，基于Evident的PRECiV™软件平台，能够对大尺寸SiC晶圆进行光学分析；双方合作设计了一个包括图像获取和分析的定制工作流程，这个工作流程涉及高分辨率图像的获取、图像分割以及使用神经网络进行缺陷检测，以便EEMCO能够更有效地控制和监测其生产过程以及最终产品的晶圆质量。