张汝京、尹志尧谈半导体产业发展

半导体工艺与设备 2024-09-04 17:00

在临港新片区着力打造的“4+2+2”前沿产业体系中,集成电路产业绝对是核心组成。而在临港新片区成立之初,东方芯港集成电路综合性产业基地(下称“东方芯港”)即启动,并于2020年10月正式揭牌。

发展至今,集成电路已经是临港新片区投资规模最大、产业集聚度最高、产值增长最快的先导产业,产业规模从2019年的不到10亿元到2024年有望突破400亿元。未来三年产业总规模目标则力争实现800亿元。

8月19日下午,在给临港新片区庆祝“5岁生日”前夕,一批在临港进行集成电路技术攻关的人齐聚在位于海港大道的临港中心,东方芯港五周年大会在此举行。临港新片区党工委副书记吴晓华在现场专门致谢,“今天在座的各位企业家是东方芯港建设的最大功臣。”

实际上,早在10年前,被誉为“中国半导体产业教父”的张汝京就受邀在临港创办了新昇半导体。而在2021年,尹志尧带领的中微在临港也正式启动了中微临港产业化基地、中微临港总部和研发基地的建设。吴晓华在现场尤其提到,没有张汝京、尹志尧等人及所率领公司的选择,就没有临港集成电路产业的今天。

临港新片区如何朝着更大的目标发展前进?张汝京认为,临港集成电路产业条件非常好,政府也大力支持,要有很强的决心,包括企业合作、银行支持、学校培育更好更多合适的员工。“假以时日,临港可以成为包括中国台湾在内的大中华区的一颗闪耀的新星。”

在大会间隙,张汝京接受了采访,谈到临港集成电路产业未来发展时,他认为可以遵循几个大原则,其中包括“赶快去引进更多的优秀公司进来”,以及需要的时候“走出去,在海外找到合适的合作伙伴,到海外去生产。”

集成电路产业集群效应显现,下一个五年打造千亿级产业规模

打造以关键核心技术为突破口的世界级前沿产业集群,这是临港新片区设立以来的重任之一。

从新片区设立五年的情况来看,集成电路产业已经成为其投资规模最大、集群效应最强、产业链布局最完善的核心产业。临港新片区也已经成为整个上海、长三角乃至中国集成电路产业的主要承载区。

目前产业发展特点主要为,首先,晶圆制造规模大。临港具有晶圆制造能力的企业共12家,其中硅晶圆4家,化合物晶圆8家;目前临港晶圆制造规划产能折算12寸是64万片/月,已建成投产的折算12寸有15.7万片/月,已开工的15.3万片/月,已经审批通过的还有33万片。

其次,晶圆制造工艺种类完整,集成电路三个工艺,即逻辑工艺、特色工艺、第三代化合物半导体工艺在临港都有布局。

另外,装备材料产业链齐全,已集聚了集成电路四大工艺薄膜、光刻、刻蚀、封装40多家企业。材料方面已集聚了大硅片、碳化硅、光刻胶等40多家企业。

从临港新片区管委会高科处了解到,截至目前,临港新片区集成电路产业已签约项目总投资近3000亿元,其中固定资产投资超1200亿元。产业链覆盖芯片设计、制造、装备、材料、封测、核心零部件等关键环节。

目前临港新片区各类集成电路企业已有300余家,而随着集群效应的显现,每年新增集成电路项目超过50个。就在上述大会现场,上海天岳、晶合光电、新微化合物半导体、上海集材院等一批新的重点项目落地签约,14家企业合计投资额288亿元。

会上发布的《临港新片区集成电路产业发展报告》显示,目前新片区集成电路领域共有56家高新技术企业、43家专精特新中小企业、15家专精特新“小巨人”企业、24家企业技术中心,获得各类资质企业数量逐年增长。

摘自《临港新片区集成电路产业发展报告》

上海市经济和信息化委员会副主任汤文侃在上述大会现场表示,五年来,“东方芯港”取得了显著成绩:一是成为全市集成电路产业的重要“发动机”;二是打造了我国宽禁带半导体产业“火车头”;三是营造了集成电路“全链生态”,助力我国集成电路产业链供应链自主安全发展。

临港新片区管委会高科处副处长李向聪表示,下一步临港集成电路产业发展的重点包括,“第一,我们已经引进的晶圆厂会尽快上马二期甚至三期;第二,在设备和材料领域要培养更多的单打冠军,甚至说在细分领域在全中国、全球都有绝对的影响力;第三,发挥临港在汽车、储能方面的应用场景优势,把宽禁带半导体做好,打造设备材料及晶圆制造规模超百亿、模组器件规模超百亿的双百亿宽禁带半导体产业基地;另外还包括封测领域,以及硅光芯片等潜在领域,都是我们下一步要继续发展的方向。”

吴晓华在大会现场表示,下一个五年,临港新片区将重点发力、补齐短板,吸引全球人才攻克技术难关,集聚500家国内外有影响力的集成电路企业,打造千亿级集成电路产业集群。

“临港条件非常好,要有很强的决心”

临港新片区管委会高科处处长陆瑜在大会现场主持时表示,有两位为中国半导体事业执着奉献一生、影响力巨大的领军人物,可以说也是东方芯港的贵人,“他们如一道曙光照亮了中国芯片产业的未来,也培育了一大批中国集成电路产业的人才。”

中芯国际创始人、上海积塔半导体有限公司执行董事、积塔学院院长张汝京博士和中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧博士当天来到了大会现场,接过了属于他们的“东方芯港·卓越人物奖”表彰。

80岁的尹志尧首先感谢自己身处伟大的时代,“我在1944年出生,那时候中国还在抗日战争时期,百分之八九十的老百姓没饭吃,不知道怎么样生活下去。过去整整80年了,中国发生了翻天覆地的变化。”尹志尧说,“没有这个时代,我们什么都做不了。”

尹志尧强调,300多家集成电路产业链公司聚集在临港,“如果没有政府的推动,我们不可能开始,也不可能发展到现在这样的规模。”

就在过去不久的8月2日,中微公司临港产业化基地正式启用。此前的2021年,中微正式启动了中微临港产业化基地、中微临港总部和研发基地的建设。产业化基地项目总投资16.7亿元,占地157亩,总建筑面积约18万平方米,为中微最大的生产制造基地。临港产业化基地的启用,将为中微各类设备生产提供强有力的产能保障,助力中微在全球集成电路设备市场进一步提升市场占有率。

不过,尹志尧在大会现场也同时表示,中微与国际先进的半导体设备公司还有着很大的差距。“所以我们一定要下决心,到2035年发展成为一家在规模和产品上都极具竞争力的世界一流的半导体设备公司,和大家一起努力把临港建设成一个真正的东方芯港,成为全球半导体和集成电路的中心。”

8月2日,中微公司临港产业化基地正式启用。

张汝京在大会现场则作了“我在临港的10年”主题分享,其鼓励半导体人用智慧和汗水,在临港的土地上发光发热,为中国芯片事业贡献自己的力量。

张汝京谈到,就在一个多月前,他去了一次中国台湾,“看看那里半导体的发展现状,先进是先进,但是也面临很多问题。”其看到的问题包括没有土地、最严重的是缺电、缺水、缺人工。

“这几个问题在临港新片区都不是问题,我们条件非常好,政府也大力支持,要有很强的决心,包括企业合作、银行支持、学校培育更好更多合适的员工。”张汝京认为,“假以时日,临港可以成为包括中国台湾在内的大中华区的一颗闪耀的新星。”

就在此次大会上,作为首批入驻临港新片区的金融机构之一,中国银行上海市分行发布了《中国银行上海市分行支持上海市集成电路全产业链高质量发展方案》,未来五年将投入千亿元专项信贷资源助力产业发展。

在大会间隙,张汝京表示,如果要谈未来临港集成电路产业发展的具体建议,“一下子三言两语很难讲完,但可以有几个大原则。首先就是临港环境非常好,但要赶快去找到更多好的公司进来,政府支持力度也很大,再加上银行愿意支持,应该很容易找公司。”他认为,需要各方面配合、共同支持、下定决心,“在这个行业里面努力做。”

此外,就国内企业而言,同样应立足国内、布局全球。“内循环没有问题,别人也管不到我们,那外面的市场呢?可以到海外去生产,寻找合适的合作伙伴去做,这是走出去。”

半导体工艺与设备 1、半导体工艺研究、梳理和探讨。 2、半导体设备应用、研发和进展。 3、建华高科半导体设备推广,包括:曝光机、探针台、匀胶机和切片机。 4、四十五所半导体设备推广,包括:湿化学设备、先进封装设备、电子元器件生产设备等。
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