半导体领域的璀璨新星——金刚石

原创 DT半导体材料 2024-09-02 19:18

在当今科技飞速发展的时代,半导体领域的创新不断推动着电子设备的进步。而在这个充满挑战与机遇的领域中,金刚石正以其独特的性能,逐渐成为一颗耀眼的新星。

金刚石不仅拥有自然界中最高的热导率,还是一种宽禁带半导体,具有击穿场强高、载流子迁移率高、抗辐照等优点。这些特性使得金刚石在热管理、大功率、高频器件、光学窗口、量子信息等领域具有极大的应用潜力。

2023年,华为提交了一项名为“一种基于硅和金刚石的三维集成芯片的混合键合方法”的专利申请,预示着功能性金刚石的应用正在逐步突破。通过混合键合方法,将硅与金刚石进行三维集成,能够实现电子芯片的高效散热,从而提高芯片的性能和稳定性。

随着技术的不断发展,我们有理由相信,金刚石将在未来的科技领域中发挥更大的作用,引领我们进入一个全新的科技时代。金刚石半导体材料的研究已成为世界科技先进国家竞相探索的优先方向,预示着金刚石将在半导体领域开启新的篇章。

   金刚石在半导体领域逐渐崭露头角

1、高功率电子器件


由于金刚石的高热导率和宽禁带特性,它非常适合用于制造高功率电子器件,如功率放大器、射频器件等。这些器件在通信、雷达、卫星等领域有着广泛的应用。金刚石的加入可以显著提高器件的功率密度和效率,降低散热成本,延长器件的使用寿命。

2、高温电子器件
在一些特殊的应用场景中,如航空航天、石油化工等领域,需要电子器件能够在高温环境下稳定工作。金刚石的宽禁带特性使其能够在高温下保持良好的性能,成为制造高温电子器件的理想材料。

3、量子计算
金刚石中的氮空位中心(NV center)具有独特的量子特性,使其在量子计算领域有着潜在的应用价值。研究人员正在探索利用金刚石中的 NV center 实现量子比特的存储和操作,为未来的量子计算技术提供新的解决方案。

4、光学器件
金刚石不仅在电学性能上表现出色,在光学领域也有着广泛的应用。金刚石具有高透明度、高硬度和良好的化学稳定性,可用于制造高性能的光学窗口、透镜和棱镜等器件。此外,金刚石还可以作为激光增益介质,用于制造高功率激光器。

   金刚石在热管理方面具体是如何应用于电子芯片的?

金刚石在电子芯片的热管理中的应用主要是利用其极高的热导率,这一特性使得金刚石能够有效地从芯片上传导热量,从而降低芯片的工作温度,提高其性能和可靠性。金刚石的热导率可以达到1000-2200 W/(mK),远高于传统的硅和金属散热材料。

在实际应用中,金刚石可以被加工成薄膜或衬底,直接集成到电子芯片的封装中。例如,厦门大学电子科学与技术学院的研究团队与华为合作,开发了基于反应性纳米金属层的金刚石低温键合技术,成功将多晶金刚石衬底集成到2.5D玻璃转接板封装芯片的背面。这种集成技术显著降低了芯片的最高结温和封装热阻,显示出金刚石在芯片散热方面的巨大潜力。 

此外,纳米金刚石材料也被研究用于电子器件的散热,它们可以作为高热流密度器件的钝化层,在器件表面进行均热,增加导热通路,提升器件表面的均温性能。 

金刚石在热管理方面的应用对于高性能计算、电力电子、无线通信等领域的电子芯片尤为重要,因为这些应用中的芯片往往会产生大量热量,需要高效的散热解决方案以保持芯片的稳定运行。随着金刚石合成技术的进步和成本的降低,预计金刚石将在半导体散热片领域得到更广泛的应用。

   目前金刚石半导体材料的关键成果研究

金刚石半导体材料因其卓越的热导率、宽禁带和高载流子迁移率等特性,被认为是未来高性能电子器件的理想材料。2024的研究进展包括:
大尺寸金刚石衬底领域:西安交通大学的科研团队采用自主研发的技术,成功实现了2英寸金刚石自支撑衬底的量产,这一成果填补了国内空白,并在指标上优于国外水平。这些单晶金刚石材料已广泛应用于5G通信领域,为高频、大功率探测企业提供了核心材料与技术支撑。
宁波晶钻科技股份有限公司,CVD大单晶金刚石如期上线,尺寸突破3.35英寸,并正在向4英寸以上单晶金刚石制备发起冲刺这一成果标志着该公司在金刚石领域取得了重要进展。CVD大单晶金刚石的成功生产,展示了宁波晶钻科技在先进材料研发和制造方面的实力。这些高质量的金刚石具有广泛的应用前景,可在机械加工、光学、电子等领域发挥重要作用,为相关产业的发展提供了新的材料支撑,同时也为我国金刚石产业的发展注入了新的活力。
中国科学院半导体研究所金鹏团队在金刚石生长中取得重要进展,采用激光切割图案化工艺缓解金刚石层异质外延生长过程中的巨大应力,在Ir/YSZ/Si复合衬底上实现了2英寸异质外延自支撑金刚石单晶的制备。结果表明激光图案化方法可以在大尺寸金刚石生长过程中有效释放应力,为传统光刻图案化方案提供了一种更简单、更经济的替代方案。
高性能电子器件领域:2024 年1月25日,日本国立材料科学研究所(NIMS)宣布开发出世界第一款 “n型金刚石MOSFET”。这一重大成果为半导体领域带来了新的突破。n型金刚石MOSFET的成功研发,有望在高性能电子器件领域发挥重要作用,凭借金刚石的卓越特性,如高硬度、高热导率和高载流子迁移率等,该器件可能在功率电子、高频电子以及恶劣环境下的应用中展现出巨大潜力,为未来电子技术的发展开辟新的道路。

这些进展表明金刚石半导体材料的研究正逐步迈向产业化和实用化,未来有望在高性能电子器件中发挥重要作用。

   第八届国际碳材料大会暨产业展览会

——宽禁带半导体及超精密加工论坛&金刚石前沿论坛

第八届国际碳材料大会暨产业展览会(Carbontech 2024),将于12月5-7日在上海新国际展览中心召开。

针对新型半导体(金刚石、氧化镓、氮化镓、碳化硅、AlN……)以及超精密加工(材料、工艺、设备)设置宽禁带半导体及超精密加工论坛金刚石前沿论坛两大论坛。展会针对金刚石及其功能化应用主题、半导体超精密加工设置10000㎡专题展区,将展示最新金刚石晶圆、量子钻石、热沉金刚石等功能化产品及相关器件,欢迎莅临现场交流、合作。

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Carbontech 2024 W1馆部分参展企业:

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