默克公司正凭借优质汽车显示解决方案加速进军柔性有机发光二极管 (OLED) 市场。默克公司在作为柔性OLED核心的薄膜封装（TFE）工艺中引入了原子层沉积（ALD）方法，而不是现有的化学气相沉积（CVD）方法。
据显示行业8月27日消息，默克公司开发出一种ALD工艺，并将其应用于柔性OLED薄膜封装工艺中。
与常规刚性OLED不同，柔性OLED需要增加面板的灵活性，因此它使用聚酰亚胺（PI）材料基板代替现有的玻璃基板，并经过多层无机和有机薄膜堆叠的薄膜封装工艺。通过将无机膜层组合在一起，实现了面板的可弯曲特性。
现有的无机膜使用通过CVD方法形成的前体。前驱体是指在显示器和半导体工艺过程中用于沉积薄膜以形成薄膜的基本原材料。随着显示器的厚度越来越薄，由于空气和湿气的渗透，薄膜中出现了杂质（颗粒）形成的问题，因此默克通过引入ALD方法继续研究和开发。
ALD是一种通过逐层堆叠原子层来制造薄膜的方法，它可以实现原子级的精度，使得薄膜变薄同时降低杂质污染程度成为可能。
“ALD 在许多方面被认为是无机薄膜沉积的最佳解决方案，并且在厚度控制、成分控制和均匀性方面表现出色，”默克韩国 OLED 研究中心负责人Kim Jun-ho 表示。
他继续说道，“利用相对简单的工艺条件和较低的功率就可以精确控制无机膜的厚度，而且碳和氮的杂质也很少，所以接近‘零’。”
“这表明由 ALD 前驱体形成的薄膜是均匀形成的。使用ALD工艺的前驱体的优点是薄膜厚度几乎均匀，没有缺陷或气泡，”他补充道。
高档汽车对柔性 OLED 的需求预计将继续增加。
市场研究公司 Omdia 预计，到 2031年，汽车OLED市场的柔性产品出货量预计将超过800万片，高于今年的 100万片和明年的 200 万片，预计将占汽车OLED总出货量的一半以上。
默克公司正在与三星显示器公司和LG显示器公司在OLED材料开发领域进行合作。LG Display 开发了 P-OLED，它结合了在 PI 基板上堆叠两个有机发光层的串联结构，并将其作为车辆产品进行批量生产。三星显示正在扩大其基于柔性 OLED 技术的汽车产品阵容。
Kim Jun-ho表示：“除了 ALD 工艺之外，我们还拥有一系列用于其他沉积方法的前驱体，例如有机氯化合物和有机金属前驱体。”
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