据麦姆斯咨询报道,2024年9月11日至12日,上海麦锴科技有限公司(简称:麦锴科技)将参加『第37届“微言大义”研讨会:激光雷达及3D传感技术』并发表主题演讲,具体信息如下:
演讲主题:面向激光光束扫描的压电MEMS微镜
演讲嘉宾:上海麦锴科技有限公司 CTO 王栎皓
嘉宾简介:
王栎皓,博士,上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室助理研究员,研究方向为先进微纳制造工艺以及MEMS光学器件与微系统,现任上海麦锴科技有限公司技术总监。在MEMS器件设计及工艺、接口电子电路、传感器微系统等方面具有丰富经验。开发了MEMS快速反射镜、MEMS微振镜、CMOS-MEMS单片集成生化传感器、SPM探针等多款MEMS器件。
演讲摘要:
微镜(MEMS Mirror)属于光学与MEMS的交叉技术,是指在硅上制造出特殊镜面,利用硅的弹性,通过控制悬梁臂的位移,从而调整镜面偏转角度。相比传统机械镜面结构,微振镜与CMOS工艺兼容,具有尺寸小、成本低、功耗低、可靠性高的特点。
麦锴科技的双轴MEMS微镜MMR123-AM
麦锴科技的双轴MEMS准静态快反镜
伴随着新能源汽车及无人驾驶的兴起,MEMS微镜作为核心器件,在车载激光雷达、HUD系统、智能照明等领域得到广泛的应用。MEMS微镜可用于激光雷达(LiDAR)的发射及接收端,将点激光扫描成二维平面,从而获得3D点云数据,重构出视场图像。也可应用于LBS(Laser Beam Scanning)技术,利用其高频特性在同一时间可扫描数百个子帧,实现高分辨率高帧频成像。
此外,MEMS微镜的应用场景可以根据微镜的种类可以应用在业物联网、消费电子、光通信等方向。在工业生产中,MEMS微镜作为核心元件的工业3D相机,在货物分拣、路径规划、包裹检测、焊接定位引导等领域应用广泛;在消费电子中,MEMS微镜可以应用在AR眼镜中,是LBS技术方案的核心元器件;在光通信中,MEMS微镜可以实现单束光的高精度偏转控制以及多束光的多分复用,在激光滤波、星间链路等领域应用广泛。
会议详情:
https://www.memseminar.com/37/