没有检测量测设备,在芯片制造中就等于两眼一抹黑,什么也干不了。而在检测量测设备领域,KLA占据着绝对的霸主地位。本文即介绍了KLA在光学检测中的主要研究,特别是激光维持等离子体技术(laser-sustained plasma, LSP),LSP作为一种光照强度高、光谱范围宽、发光稳定的新型辐射光源, 在光学检测 (半导体晶圆检测) 等领域具有重要的应用价值。