浙江省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室

浙江省高性能MEMS（微机电系统）芯片规模制造技术重点实验室由西北工业大学宁波研究院联合宁波博威合金材料股份有限公司、宁波市眼科医院共同建设。实验室由我国微纳学科奠基者之一、国家级领军人才、西北工业大学教授苑伟政担任主任，以国家重大需求为导向，开展具有探索性、前沿性、创新性的技术研究，持续攻关高性能MEMS芯片制造及应用服务难题，为国家航天航空、重大装备等领域研发更多高性能传感器芯片。

实验室充分发挥研究团队在MEMS研究领域30余年的技术积累，面向智能微系统技术的世界科技发展前沿，围绕视觉检测类光学芯片、听觉检测类声学芯片等MEMS高端定制类芯片在规模化制造过程中的卡脖子技术难题，聚焦MEMS芯片制造过程中涉及的特种滤光器件制造工艺等“标准化”MEMS工艺方案，解决MEMS芯片共性关键制造技术难题，颠覆传统MEMS制造工艺非标冗杂的制造模式，突破高性能MEMS芯片制造技术壁垒。

“传统的芯片就像是大脑，而MEMS芯片则是五官，这类芯片可实现多项感知功能，是构建智能微系统的重要组成，可用于智能制造、医疗诊断、无人装备等众多领域。”研究团队核心成员，西工大宁波研究院智能传感芯片技术研究中心责任教授虞益挺表示，实验室面向智能微系统技术的世界科技发展前沿，打通“需求分析—人才汇聚—技术研发—成果转化”路径，促进人才链、创新链、产业链深度融合，锻强技术团队创新研发硬实力，打造高水平产学研用科创新平台。“目前我们已经跟宁波市眼科医院开展合作，将利用光谱成像技术为眼科诊疗设备装上自主研制的特种相机，帮助眼底、眼表疾病的早期筛查。”

来源：西工大宁波研究院