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ASM|下一代ALD、Epi技术在何处？

半导体工艺与设备 2024-08-20 10:07
揭秘实时频谱分析的黑科技原理 GaN电机驱动设计“避坑”指南
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来源：ASM Q2 2024年财报


在整个半导体设备市场(wafer fab equipment, WFE)中，光刻、薄膜沉积、刻蚀三大类设备占据了接近80%的市场份额，而先晶半导体(ASM)是半导体制造领域原子层沉积(ALD)设备和工艺解决方案的领先供应商，占据ALD接近50%的市场份额。ALD是目前市场上最先进的沉积方法，可以制造出具有卓越材料质量、均匀性和一致性的超薄薄膜。ALD是晶圆厂设备市场中增长最快的部分之一，ASM拥有最广泛的ALD产品和应用组合。本期推荐内容为ASM关于未来ALD、Epi等技术在芯片制程中的应用与展望，内容还回顾了ASM在ALD领域坚实的技术积累。


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内容来源：ASM 官网

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半导体工艺与设备 1、半导体工艺研究、梳理和探讨。 2、半导体设备应用、研发和进展。 3、建华高科半导体设备推广，包括：曝光机、探针台、匀胶机和切片机。 4、四十五所半导体设备推广，包括：湿化学设备、先进封装设备、电子元器件生产设备等。
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