对于国产半导体产业来说，由于受到欧、美、日的极限打压正处于极度艰难的时期，但所谓危也是机；在半导体产业各环节都处于相对不确定的情况下，半导体设备产业却是最为确定的环节。
中国在半导体领域从上游的材料和设备研发，到中游的设计和制造，再到下游的封装测试，都在全力推进国产化。而半导体设备是国产半导体产业突破的重中之重，半导体设备贯穿于芯片制造和封测的整个过程，数量繁多，所有设备超过几百种。近日国产半导体核心设备——量测设备批量交付，实现重大突破。
一、上海精测交付20台量测设备
7月9日，晶合集成与上海精测签署20台EPROFILE 300FD量测设备采购意向。据了解，此次晶合集成采购的20台EPROFILE 300FD量测机各方面性能已达到国际水准；双方已进行了一年的测试、验证，及成功导入生产。
据了解，上海精测成立于2018年7月，隶属于精测电子集团公司，主要从事以半导体量测设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。
那此次上海精测批量交付国产半导体量测设备的意义是什么呢？先了解一下全球量测市场格局情况。
二、全球半导体量测设备市场格局
根据VLSI数据统计，2023年全球半导体检测和量测设备市场规模达到128.3亿美元，在全球半导体制造设备占比中半导体检测和量测设备占比约为13%，仅次于刻蚀设备、薄膜沉积设备和光刻设备。
其中明场纳米图形晶圆缺陷检测设备销售额25亿美元，占比19.5%；掩膜版缺陷检测设备销售额18.1亿美元，占比14.1%；无图形晶圆缺陷检测设备销售额13.2亿美元，占比10.3%。
半导体检测和测量设备市场主要由应用材料、科磊、日立高新、阿斯麦等全球巨头占据；尤其是应用材料和科磊在高端量测设备市场占据较大份额，其他公司在特定领域或技术节点上也有一定的竞争优势。目前，量检测设备国产化率较低，预计在5%左右；这也意味着国产替代的空间巨大。
那国产半导体量测设备市场情况如何呢？
三、占据全球30%以上市场
虽然国产半导体量产设备国产化率不高，但却占据全球30%以上的市场份额。
根据共研产业数据，中国半导体量/检测设备市场规模由2019年的16.9亿美元增长至2022年的40.2亿美元；中国大陆在全球市场占比也由26%增长至31.8%；预计2024年及2025年中国半导体量/检测设备市场增速分别为10%和12%。
正是有了超过30%以上的市场规模，国产半导体量测设备也正逐步突破过程之中。
四、上海精测，手握16亿订单
量检测设备国产化率低，但市场广阔，国产替代的空间巨大。
以上海精测为例，7月14日，精测电子（上海精测母公司）公布2024年半年度业绩预告，上半年归属于上市公司股东的净利润预计为4500万元至5500万元，同比增长272.09%至354.77%；也就是说，精测电子上半年利润翻了3倍左右。
另外，上海精测在技术上也在不断的突破，除了上文提到的批量交付量测设备之外。2022年12月，上海精测子公司上海精积微半导体首台明场缺陷检测设备BFI-100E和首台高速Driver ATE设备J-Metron 6101正式交付客户。精测电子明场缺陷检测设备，能对标科磊KLA 2910/2915系列，可以用于28nm制程的相关前道检测。
同时根据供应链消息，截至4月22日上海精测在手订单超16亿元；主要为膜厚、电子束取得多家客户的批量订单，硅片应力测量设备取得重复订单，明场光学缺陷检测完成了首台套交付和验证。
另外有图形暗场检测设备也在研发之中，进展顺利，预计下半年将会有进一步的消息。
也就是说，作为国产量测设备龙头——上海精测目前订单充沛，研发在持续推进之中，而且经营业绩暴涨；这当然主要是国产替代带来的产业红利所致。
因此，在消费电子市场逐步复苏，以及其他应用产业需求的增长，半导体检测和测量设备的需求正持续增长；而国产半导体设备厂商在国内替代的指引下，也获得进一步的发展。但随着数字化、智能化、网络化等技术的快速发展，半导体量测检测设备的精度、速度、稳定性等性能将得到进一步提升。这些技术进步将推动半导体量测检测设备向更高精度、更高效、更智能的方向发展。
