据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，天津大学副教授牛鹏飞将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：小尺寸高频PMUT的结构工艺及超声成像
授课老师简介：
牛鹏飞，博士，现任天津大学精密仪器与光电子工程学院副教授。他的博士学位由西班牙巴塞罗那材料研究所ICMAB-CSIC和巴塞罗那微电子研究所IMB-CNM-CSIC联合培养，毕业后在美国国家标准与技术研究院（NIST）开展为期两年的博士后研究。他背靠天津大学精仪学院MEMS实验室，近年来主要开展压电MEMS传感器，尤其是高频高灵敏度PMUT的结构设计、工艺开发、超声成像及产业化应用研究。他承担国家自然科学基金、国家重点研发计划任务、天津市自然科学基金、计量测试技术研究院基金等项目，在高频高灵敏度PMUT传感器结构和关键工艺等方面取得突破，并申请了多项发明专利。在微纳传感器领域重要期刊IEEE Electron Device Letter (EDL)、Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS)、Lab On a Chip、Microsystems & Nanoengineering等期刊及行业重要会议IEEE MEMS和IEEE IUS发表论文多篇，其中2篇被选为期刊封面。他的工作与成果获得行业高度评价和认可。
授课背景及内容：
MEMS超声诊疗被认为是革命性的技术，可用于胎儿、心脏、肝脏、乳腺、肌肉、血管等人体组织和器官成像，其成功及大批量使用为全球健康事业贡献巨大力量。传统的大型超声设备生产制造复杂、体积庞大、价格昂贵，并且无法自动3D成像（需要手动扫描），而基于MEMS技术的手持式超声影像设备借助半导体制造工艺及集成技术，减小体积和降低成本，并且易于实现基于2D相控阵的3D成像，因此受到当下学术界和产业界的深度关注。天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室研发了一种用于超声相控阵成像的小尺寸高频AlN PMUT阵列，使所设计的PMUT结构能够通过非常成熟的磷硅酸盐玻璃（PSG）牺牲层工艺进行低成本制造，再加上优异的超声性能，表明该PMUT阵列在手持式超声影像设备方面具有光明的应用前景。本课程从基于微机械换能器的超声诊疗技术出发，重点讲解小尺寸高频AlN PMUT阵列设计、制造及超声成像应用。
图1 (a) MEMS超声对传统超声的革命及 (b) Butterfly公司基于CMUT技术的iQ+手持式超声诊断仪及MEMS芯片微结构
图3 (a)-(f)是PMUT线性阵列的制造流程；(g)-(h)是俯视图光学照片；(i)是横截面SEM图像。
课程提纲：
1. 微机械换能器的超声诊疗概述；
2. 小尺寸高频PMUT的结构与工艺；
3. 小尺寸高频PMUT阵列的声学性能；
4. 基于小尺寸高频PMUT阵列的超声成像；
5. PMUT应用探索及技术展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-63.html
