据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，天津大学北洋学者张孟伦将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：PMUT新技术与新应用
授课老师简介：
张孟伦，工学博士，天津大学北洋学者，英国剑桥大学访问学者。他专注MEMS领域研究十余年，研究领域覆盖各类声学MEMS器件，包括麦克风、扬声器、超声换能器及频率器件等。在压电MEMS方向以第一作者/通讯作者身份发表国际学术论文50余篇（JMEMS、Microsyst Nanoeng、TUFFC、JMM、EDL、APL、Small、PRA、B&B、ACS Sensors、ACS AMI、Analyst等），并将研究成果出版英文专著章节；在MEMS领域申请和授权国内外发明专利150余项。他多次受邀参加国际学术会议并作报告，近年来先后赴10余个国家和地区在多场MEMS领域会议上（IEEE MEMS、Transducers、Sensors、NEMS等）作报告；担任Nanotechnology and Precision Engineering等国际学术期刊编辑。
授课背景及内容：
PMUT是指基于压电效应的微机械超声换能器，通常使用压电材料沉积工艺（例如磁控溅射法、溶胶-凝胶法、原子层沉积法）在空腔顶部形成可运动的压电薄膜。在PMUT中使用较多的压电材料是AlN和PZT，因为这两种材料有着较为成熟的制造工艺，但是新材料和新技术不断涌现，推动PMUT科研领域创新发展。AlN PMUT与集成电路工艺具有很好的兼容性，因而是超声系统重要的微型化实现方案之一。近期，我国在压电MEMS工艺方面快速发展，形成“科研-中试-量产”全系列平台，典型的压电MEMS工艺平台单位包括：天津大学、苏州纳米所、上海微技术工研院、苏州MEMS中试平台、无锡物联网创新中心、国家智能传感器创新中心、芯联集成、中芯宁波等。本课程介绍PMUT及其阵列的设计与制造，以及新技术发展情况，讲解基于PMUT的五种新应用：脑机接口、能量传输、心率监测、眼动追踪、室内定位。
PMUT制造工艺示例
PMUT及其阵列示例
课程提纲：
1. PMUT及其阵列的设计与制造；
2. 基于PMUT的无线植入式脑机接口；
3. 基于PMUT的无线能量传输；
4. 基于PMUT的心率监测；
5. 基于PMUT的眼动追踪；
6. 基于PMUT的室内定位。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-63.html
