来源：沈阳仪表院
近日，国机研究院所属的沈阳仪表科学研究院有限公司“高端装备用系列先进传感器及硅基压力敏感芯片技术”，入选2023年度“科创中国”产业基础领域先导技术榜单。
“科创中国”先导技术榜聚焦推动科技创新和产业创新深度融合的重点领域和关键环节，不断推出领头雁、树立风向标，围绕电子信息、生物医药、装备制造、先进材料、绿色低碳、产业基础6大方向，遴选出150项前沿技术，“科创中国”系列榜单极具重量级和权威性，被认为是科创领域的国家级榜单。
“高端装备用系列先进传感器及硅基压力敏感芯片技术”依托传感器国家工程研究中心硅基压力敏感工程化芯片线开展研究，深度融合并优化了压力敏感芯片设计及微纳加工，传感器封装、补偿、筛选，整机可靠性、稳定性提升及工程化应用等全流程、多学科技术与工艺，有效攻克了设计、制造及工程化应用等多项关键核心技术，总体技术达到国际先进水平。相关产品在工业测控、航空、航天、大型装备、能源环保等领域得到广泛应用，技术上发挥了先导作用，保障上实现了自主可控。
压力传感器
关于沈阳仪表科学研究院有限公司
沈阳仪表科学研究院有限公司是始建于1961年5月5日的国家级科研院所，1999年7月1日转制为企业，是我国首批转制的242家国家级科研院所之一，隶属于中国机械工业集团有限公司，被中国机械工业集团公司确定为“核心业务企业”。研究院设有1个国家级工程中心，即传感器国家工程研究中心；是国家专精特新“小巨人”企业、国家“企业技术中心”。
研究院专注于高端仪器仪表和智能装备两大技术领域。重点研究仪表核心器件传感器和敏感芯片，已经形成芯片、传感器、弹性元件、光学元件、智能仪器仪表、光机电一体化产品、仪表成套系统等一条完整的仪器仪表产业链；同时开发高压水系统清洗设备及其自动化清洗系统及仪器、传感器工艺装备和真空装备等智能装备及相关技术；建成了国内颇具实力的硅基传感器产业化基地、高压组合电器补偿器及其配套产品产业化基地和光学干涉滤光片产业化基地。
