据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，上海微技术工业研究院总监娄亮将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：基于PMUT的液体监测及无损探伤
授课老师简介：
娄亮，博士，现任上海微技术工业研究院（SITRI）总监、MEMS工艺平台负责人，上海大学微电子学院连聘导师。他2008年本科毕业于中国科学技术大学；2012年博士毕业于新加坡国立大学；2009年起加入新加坡微电子研究院（IME）至2018年回国，历任科学家、压电声学传感器主管，迄今有15年8英寸MEMS产线的设计、管理与产业经验。他在新加坡期间主持开发了水听、测距、超声指纹等压电声学芯片与平台，转移氮化铝（AlN）超声工艺平台至格罗方德半导体公司进行量产。他迄今在相关领域顶级国际期刊和会议上发表论文50余篇，授权美国专利2项，申请授权国内专利20项。
授课背景及内容：
液体具有多种物理特性，例如密度、黏度和表面张力等，通过测量这些参数可以反映出液体的性质，其中密度是反映液体性质的重要指标之一。此外，液体流量和位置在仪器仪表、工业过程和医疗监测设备中是常被测量的运动状态信息。时差式超声波流量计（TTUF）是最广泛使用的流量测量设备之一。然而，传统的TTUF通常基于块体型压电换能器，这限制了其在小直径通道中的应用。利用压电式微机械超声换能器（PMUT）取代块体型压电换能器，可以有效突破这一限制。娄亮博士团队开发出一种基于掺钪氮化铝（ScAlN）PMUT的小型化TTUF，在直径为4 mm的通道中实现了2∼300 L/h大范围内流量测量。这款TTUF的准确度和重复性分别在0.2%和1%以内，在医疗和化工等方面显示出巨大的应用潜力。本课程介绍ScAlN PMUT核心技术（设计与制造），讲解PMUT在液体流量计、液体密度计、液体位置计、无损探伤中的应用。
娄亮团队通过对PMUT单管、 阵列的优化设计， 制作声场指向性集中、 收发灵敏度的小型超声收发器
课程提纲：
1. PMUT设计与制造概述；
2. 基于PMUT的液体流量计；
3. 基于PMUT的液体密度计；
4. 基于PMUT的液体位置计；
5. 基于PMUT的超声无损探伤。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-63.html
