7月11日，凝聚“芯”动能，共筑“芯”高地——广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，微纳院二期项目正式封顶，一批半导体项目现场签约，为南海半导体产业发展注入“芯”动能。
广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线
活动当天，广东微纳院与华南师范大学工学部还举行了合作签约仪式，与一批南海企业达成产学研合作，多方将开展多层次、多形式的合作，促进科教融合人才培养、成果转化、创新示范深度融合。广东省科技厅二级巡视员夏奇峰、佛山市副市长陈新文、南海区区长王勇及南海区相关部门、区内高校、科研院所、半导体产业上下游企业代表超180人参会。
中试平台通线，一批项目签约
南海半导体产业注入“芯”动能
广东微纳院是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位，聚焦芯片制造环节，搭建先进半导体工艺研发体系，形成半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试服务模式，为佛山市半导体产业强链延链、大湾区“芯”动能高质量发展提供技术平台支撑。会上，广东微纳院副院长王晖介绍中试平台规划与建设情况。据介绍，平台建成后，将具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力。
广东微纳院副院长王晖介绍中试平台规划与建设情况
“希望广东微纳院继续加强科研攻关和中试平台工艺能力建设，努力实现引领性原创性技术突破，加快重大科技成果高效转化和迭代应用，探索建立科技创新和产业创新互促互强的半导体向‘新’生态。”中国科学院苏州纳米所党委书记邓强表示。
自研究院成立以来，已为百余家科研院所、高校和企业提供技术服务和人才输出，获得了业界的广泛认可，成为广东半导体产业的重要支撑平台之一。广东省科技厅二级巡视员夏奇峰表示，中试平台是连接实验室与产业界的桥梁，希望广东微纳院继续发扬创新引领精神，不断提升产业辐射策源能力，为广东省和大湾区半导体产业的蓬勃发展蓄势赋能。
活动现场，苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等12家企业、科研院所与广东微纳院签订中试合作协议。未来，广东微纳院“半导体材料外延与表征”、“半导体微纳加工”两大中试平台将分别为合作企业提供提供外延定制、表征测试及全流程中试流片、技术咨询等多种中试服务。
一批企业现场签订中试合作协议
“广东微纳院是一个出色的科创平台。其凭借着卓越的科研实力、先进的实验设施以及专业的科研人才队伍，为科技创新和产业发展提供了强大的支撑和动力。在此前，企业已经与广东微纳院在许多领域达成了合作意向。”广州市鸿利秉一光电科技有限公司签约入驻半导体材料外延与表征中试平台，研发总监任荣斌表示，在当前半导体激光芯片等领域的发展进程中，企业不可避免地遭遇了一定的技术瓶颈，依托研究院的中试平台所提供的芯片定制、科研攻关等一系列专业服务，能为企业突破技术瓶颈、实现技术及产业化的实质性进展提供强大助力。
产业园建设提速
打造半导体产业集聚强磁场
依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。活动举行了简单而隆重的二期产业孵化区封顶仪式，6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议。
现场举行微纳院二期项目封顶仪式
6家企业签订意向落户协议
“当前广东微纳院已构建了‘一核五园多要素’平台格局，除了中试平台通线及二期项目封顶外，研究院将推进三期项目规划，持续配备更多半导体产业相关设备，引进培育一批半导体上下游产业企业，打造成半导体全链条产业服务平台。”王晖表示，在地方政府的支持规划下，围绕广东微纳院的临近地块都可以为企业落地提供支持，将有望打造形成全广东省乃至华南地区最适合发展半导体产业的集聚区域。未来，广东微纳院将不断扩展产业版图，打造成为具有全国影响力的集产业孵化、人才培养、芯片制造等要素的科创平台。
“广东微纳院是佛山重点支持建设的半导体科创平台，对推动产业创新、构建产业生态、集聚产业发展起到示范引领作用，佛山将着力支持广东微纳院成为全国5个之一、全省20个之一的具有国际影响力的中试平台。”佛山市副市长陈新文表示，希望研究院继续发挥引领龙头作用，深化半导体中试平台加产业孵化运营和创新运营模式，为企业解决技术瓶颈和难题，推动佛山半导体产业向更高层次、更广领域发展。佛山将继续支持半导体产业发展，加大政策扶持力度，加强产业配套和基础设施建设，积极构建“益晒你”服务体系，持续打造一流的营商环境，为科学家、企业家提供更加贴心、便捷高效的服务保障，共同携手探索半导体领域的无限可能与无限机遇。
