三维集成电路芯片的最大挑战：热管理

芝能智芯出品

三维集成电路（3D-IC）作为突破平面系统级芯片（SoC）极限的关键路径，日益成为尖端设计的主流趋势。

3D-IC不仅能够整合不同工艺节点下的异构元件于同一封装中，还能够满足人工智能计算日益增长的需求。然而，这项技术的引入也伴随着前所未有的挑战，尤其是工艺和热变化带来的复杂性，这些因素要求设计流程的重大革新。

在3D-IC结构中，细小的导线和较大的组件共同作用，导致热梯度加大且散热受限，这不仅引发了电迁移、热失控等微观问题，还可能直接导致芯片失效，乃至火灾等极端情况。热效应还会通过改变光子通信的波长干扰光子学应用，进一步凸显了热管理的紧迫性。

随着工艺节点不断缩小至个位数纳米乃至埃级别，工艺和热变化的控制难度剧增，噪音增加、可靠性下降成为亟待解决的难题。

热效应与工艺变化相互叠加，形成级联效应，需要设计人员具备前瞻性的解决方案。热不仅直接影响时序性能，导致线路延迟增加，还可能引发热致翘曲、机械应力等问题，影响芯片间的连接稳定性，从而对整个系统的可靠性和寿命构成威胁。

热管理不再是孤立考虑的问题，而是需要在设计初期就纳入多物理场仿真和全局视角，以实现性能、功耗、面积（PPA）及热管理（T）的综合优化。

这是目前的挑战：

● 增加的热梯度：3D-IC 的复杂结构和较细的导线导致电阻增加，进而产生更多的热量。大的 3D 结构会扩大热梯度范围，散热途径有限，增加了热管理的复杂性。

● 热致翘曲：高度堆积的异质材料在高温下会导致翘曲，影响产量和可靠性。随着基板变薄，散热效率降低，热致翘曲问题更加严重。

● 自发 DRAM 刷新和热失控：3D-IC 中的热问题可能导致 DRAM 自发刷新和热失控等风险，这对设备的稳定性和寿命构成威胁。

● 热对时序的影响：高温会导致线路延迟增加，影响电路速度和整体性能。

● 机械应力：热变化引起的机械应力与材料变形相关，影响凸块的粘附性和欧姆接触，可能导致芯片间连接破裂。

面对这些挑战，行业专家一致倡导“左移”设计流程，即在设计早期阶段就进行热分析和潜在问题预测，而非传统的后置分析。这一策略要求设计人员、分析工程师以及封装和PCB设计师从项目启动之初就紧密合作，共享数据，共同工作于统一的数据库中。

通过这种跨学科的协同作业，可以在设计过程中更早识别并解决热问题，减少后续迭代，提升设计效率和可靠性。

● 早期热分析：将热分析前置，尽早在设计过程中进行，有助于识别和解决潜在的热问题。这包括在设计初期进行布局优化和热可行性分析。

● 热柱和散热器：通过在设计中引入热柱来将热量从热点区域引导出去，并在必要时更改封装设计（如增加散热器）。

● TSV 管理：在使用 TSV（通孔）时，控制填充和制造工艺，以避免翘曲和其他机械问题，确保平面度。

● 协作和工具：采用统一的设计数据库，促进不同团队之间的协作，并使用能够处理大规模热分析的工具。通过共享数据库，设计师和分析师可以更好地协作，减少迭代次数，提高设计效率。

● PVT 传感器和热节流：尽管 PVT 传感器可以监测和缓解局部热问题，但这种方法牺牲了性能。尽量通过设计优化减少对热节流的依赖。

3D-IC 的热管理要求从整体上考虑芯片设计、封装和 PCB，而不仅仅是单个组件。设计人员需要在热分析时考虑整体设计，以减少热问题对性能的负面影响。

热管理不再是短期问题，而是影响芯片长期可靠性的关键因素。通过提前规划和构建冗余来提高芯片的可靠性。改变传统的设计流程，采用新的设计和分析方法虽然挑战巨大，但从长远来看可以提高成本效益和设计效率。

随着芯片被广泛应用于关键领域，其可靠性成为了不容忽视的重点。热管理与材料科学、冗余设计的结合成为提升长期稳定性的关键。例如，TSV（硅通孔）作为3D-IC热管理和互连的关键技术，其自身的可靠性问题也需得到重视。

3D-IC的复杂性和由此产生的热管理挑战正驱使半导体行业重新评估和优化设计流程，促进各专业领域间的协作与融合。通过“左移”策略的应用，结合先进的分析工具和跨领域合作，可以更有效地应对热效应及其他多物理场问题，从而加速技术创新，推动行业持续进步。

热管理不仅是当前面临的最大挑战，也是推动行业变革、促进合作的关键驱动力。面对未来，设计人员和工程师们需要携手，利用人类智慧和科技进步，共同探索更高效、可靠的3D-IC设计之道。