基于MEMS硅基应变片+玻璃微熔工艺的力矩传感器,赋能机器人应用

MEMS 2024-07-01 00:01

近日,深圳安培龙科技股份有限公司(简称“安培龙”)与广东天机智能系统有限公司(以下简称“天机智能”)携手合作,重磅推出了机器人用的基于MEMS硅基应变片+玻璃微熔工艺的高性能力矩传感器,以满足工业机器人、协作机器人等机器人对力测量的精确需求,并计划在人形机器人上开展实际应用。








一、力矩传感器及其特点








力矩传感器是一种用于测量物体转动力矩的装置。它可以将测量到的力矩值转化为电信号输出,并通过计算机或仪表进行处理和显示。力矩传感器主要由弹性元件、电桥、信号调理电路和输出信号等组成。当物体收到外力或扭矩时,弹性元件将发生形变,导致电桥输出电信号,从而获得扭矩测量值。



本次安培龙和天机智能新推出的机器人用的力矩传感器系列产品,结合了安培龙在传感器技术领域的先进经验和天机智能在机器人算法领域的创新实力。本次推出的力矩传感器系列产品特点如下:


01

高精度:超灵敏半导体感应芯片加上创新的应变感应体双面分布,可高精度解耦,极大降低串扰,从而提高了数据准确度;

02

高刚性:特殊不锈钢基材与结构设计,使得大负载力控协作机器人成为了可能,同样运动精度下,机器人速度可以进一步提升;

03

高稳定性采用MEMS硅基半导体应变计技术和玻璃微熔工艺技术,彻底摆脱了传统树脂粘接工艺带来的老化 ,蠕变的影响,具有优秀的零点稳定性和抗冲击能力,在机器人和人形机器人场景不用经常性进行零点标定,可真正助力人形机器人和协作机器人落地。




二、力矩传感器的主要应用场景



本次安培龙和天机智能联合推出的力矩传感器系列产品可广泛应用于机器人领域,为机器人提供更加精准、稳定的力量感知和控制能力。在汽车制造、家电生产、消费电子、航空航天、医疗、人形机器人等行业中,该系列产品均有着广阔的应用前景。特别是协作机器人和人形机器人的关节模组上,使用本力矩传感器后能够实时感知各关节扭矩和控制末端力,提高安全性能和交互性能。



1、力矩传感器在机器人一体化关节模组领域的实际应用方案






产品特点:

01

开发了系列化MEMS硅应变计以及玻璃微熔工艺关节用扭矩传感器;

02

接口标准,可以和标准谐波减速机无缝连接;

03

抗干扰,专业的传感器电路设计,有效解决了电源干扰问题;

04

特殊信号处理算法,可以有效解决关节振动带来的传感器数据波动;

05

在协作机器人关节中,增加了高精度的扭矩信号,机器人更安全,交互更丝滑;

06

由于传感器的高刚性和低蠕变特性,特别满足人形机器人抗冲击和长期稳定的需求。


2、力矩传感器在六轴/七轴协作机器人的应用方案


产品特点:

01

末端最小可感知力度相比传统协作机器人提升20倍以上(传统协作机器人最小可感知力度变化10N,天机智能力控协作机器人最小可感知力度变化0.5N)

02

碰撞安全、力控应用、拖动示教能力大幅提升。



安装有本系列力矩传感器的天机智能7KG力控协作机器人的实际效果展示

天机力控协作机器人产品特点:

01

轻柔力控:全关节都集成了高精度力矩传感器,大幅提升碰撞安全性、拖动示教及精密组装、打磨等能力

02

状态指示:通过本体状态指示灯,无需外连屏幕,即可对机器人工作状态一目了然;

03

更加自由:对于DL7 Pro型号,增加第7关节,运动更自由,适合复杂空间内工作;

04

灵动手柄:手柄集成了多个快捷键,不需在机器人与示教电脑间奔走,即可完成对点位的拖动示教,插入、微调、编辑、删除、简单运行等工作,极大提高示教效率。



三、市场拓展和发展前景



随着科技的飞速发展,机器人技术已成为推动工业自动化的重要力量。安培龙与天机智能作为行业内的知名科技企业,通过本次合作推出的全新机器人用力矩传感器产品,将进一步满足市场对高精度、高稳定性力矩传感器的需求。未来,安培龙与天机智能将继续深化合作,不断推出更多创新产品和技术解决方案,为工业自动化的发展贡献更多的智慧和力量。同时,安培龙与天机智能也将积极拓展国内外机器人领域市场,与更多行业领军企业建立合作关系,共同推动机器人技术的发展和应用,携手共创美好未来。


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