据麦姆斯咨询报道，6月28日，广州增芯科技有限公司（简称：增芯科技）国内首条12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线在广州市增城区举办通线投产启动仪式，广东省工业和信息化厅党组成员、副厅长曲晓杰出席活动并致辞。
增芯科技12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目，位于广州增城经济技术开发区，从2022年12月底动工，到2024年6月产线通线，仅用时18个月，体现广东集成电路重大项目建设的“芯”速度。
增芯科技总经理张亮表示：“从2022年12月项目动工，到2023年9月主体结构封顶，一共用了9个月零6天，再到2023年12月完成首台设备搬入，2024年6月进入投产阶段，最大感受就是‘快’。”
该项目一期投资70亿元，规划月产能2万片MEMS晶圆，一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程。量产的芯片主要应用在新能源汽车、高端装备、人工智能、工业互联网等领域，预计今年底实现产品交付客户。该项目顺利建设量产能够较大满足粤港澳大湾区智能传感器需求，对促进广东省集成电路产业高质量发展具有重要意义。
“增芯科技可以在广州增城生产第一批芯片产品了！”现场，增芯科技总经理张亮难掩激动。他介绍，芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。
当天举行的投产启动仪式，意味着项目已建立起制造系统，整个生产流程能够连贯地运作。后续，增芯科技将通过产品良率提升和产能爬坡，加快MEMS产品交付工作。
随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，先进智能传感器芯片大有可为。面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场，增芯科技专注于MEMS、先进模拟/混合信号等特色芯片制造技术领域。“增芯科技采取差异化竞争策略，专注于高附加值的MEMS传感器及特色细分产品市场段。”增芯科技总经理张亮表示。
作为广州东部中心“现代活力核”的重要承载区，增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，并在“芯”产业方面不断实现突破，智能传感器全产业链雏形初步形成。增城在广州集成电路“一核两极多点”中扮演着重要角色，主要聚焦智能传感器和芯片制造领域。在链主企业增芯的牵引之下，增城已引进落户越海、广东微技术工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。为推动全产业链条完整集聚，增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色产业园，预计到2035年，增城将形成千亿级智能传感器产业集群。
