据麦姆斯咨询报道，2024年7月6日至7日，北京理工大学集成电路与电子学院教授、北京理工大学重庆微电子研究院院长谢会开将参加《第60期“见微知著”培训课程：新兴MEMS传感器和执行器技术》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：
（一）MEMS微镜设计、制造及应用
（二）先进微纳工艺研究中心参观学习
授课老师简介：
谢会开，博士，北京理工大学集成电路与电子学院教授，国家海外高层次人才，北京理工大学重庆微电子研究院院长、首席科学家，集成声光电微纳系统教育部工程研究中心主任。他在北京理工大学微电子专业获得本科和硕士学位之后，到清华大学微电子学研究所从事科研及教学工作4年，之后赴美留学。他于2002年获得美国卡内基梅隆大学电子与计算博士学位，同年作为助理教授任教于美国佛罗里达大学电气与计算机工程系，并分别于2007年和2011年晋升为副教授/终身教授和正教授。2020年，他全职回到母校北京理工大学任教。他的主要研究方向包括MEMS/NEMS、光学/声学/惯性MEMS传感器、微纳光学、生物光子学、光学显微内窥影像、微型光谱仪和激光雷达，发表论文350余篇，获得授权美国专利19项、授权中国发明专利50余项。他担任国际期刊IEEE Sensors Letters和Sensors and Actuators A的副主编，2018年入选IEEE Fellow和SPIE Fellow。
授课详细内容：
（一）MEMS微镜设计、制造及应用
MEMS微镜指采用MEMS制造技术，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学器件。它是反射型微光学器件的典型代表，在投影仪、激光雷达、汽车智能前灯、光刻机、OCT内窥镜、光谱仪、光通信等应用领域扮演着重要角色。尤其是基于MEMS微镜的激光雷达，兼顾了寿命、车规、量产、成本等优势，近期受到自动驾驶汽车领域的热捧，并逐步取代传统的机械式激光雷达。在本次课程中，老师将为学员们剖析四种MEMS微镜结构、驱动原理、设计与制造工艺，并分析其典型的光学应用案例。
TI静电数字微镜（DMD）阵列
电磁MEMS微镜示例
压电MEMS微镜示例
电热MEMS微镜示例
课程提纲：
1. MEMS微镜结构及驱动原理：静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动
2. MEMS微镜分类及指标（扫描维度、镜面位姿、阵列大小等）
3. 典型MEMS微镜设计与制造工艺
3.1 TI静电数字微镜（DMD）阵列
3.2 MicroVision电磁微镜
3.3 S型压电微镜
3.4 TTP电热微镜
4. MEMS微镜的典型应用案例
4.1 MEMS激光雷达
4.2 MEMS内窥显微成像
4.3 MEMS微型傅里叶变换光谱仪
（二）先进微纳工艺研究中心参观学习
北京理工大学重庆微电子研究院先进微纳工艺研究中心（英文简称：AMFC）是研究院的核心制造平台，为研究院开展特色MEMS研发及产业化应用提供关键基础支撑。AMFC一期投入超过1.5亿元人民币，拥有一条6英寸微纳加工工艺研发线，现有十级、百级、千级等各类超净间面积1100多平方米。AMFC拥有步进投影光刻、双面对准光刻、晶圆键合、金属/介电质反应离子蚀刻、深硅蚀刻、自动RCA清洗机、化学气相沉积、磁控溅射、电子束蒸发等工艺设备，以及SEM电镜、膜厚测量、薄膜应力测量、高分辨表面形貌分析、引线键合等分析测试设备，可以实现完整的MEMS器件工艺加工流程。目前，AMFC聚焦光学MEMS、声学MEMS、惯性MEMS等工艺研发及加工，同时具备新型半导体材料生长、CMOS-MEMS集成以及三维异质异构集成等先进工艺开发能力。本课程带领学员们了解AMFC整体情况，结合现场参观加深对微纳工艺的理解。
课程提纲：
1. 北京理工大学重庆微电子研究院简介
2. 先进微纳工艺研究中心工艺能力介绍
3. 重庆市集成电路展厅参观
4. 先进微纳工艺研究中心参观
培训课程详情：
https://www.memstraining.com/training-60.html
